[實用新型]一種氣體泄漏安全裝置以及氣體泄漏安全系統

有效

• 申請號: 201721665820.8
• 申請日: 2017-12-04
• 公開（公告）號: CN207514590U
• 公開（公告）日: 2018-06-19
• 發明（設計）人: 陳萬友
• 申請（專利權）人: 蘇州能訊高能半導體有限公司
• 主分類號: F17D5/02
• 分類號: F17D5/02
• 代理公司: 北京超凡志成知識產權代理事務所(普通合伙) 11371
• 代理人: 鄧超

本實用新型提供一種氣體泄漏安全裝置以及氣體泄漏安全系統，涉及半導體氣體防護技術領域，該氣體泄漏安全系統包括尾氣處理設備、備用管和氣體泄漏安全裝置，該氣體泄漏安全裝置包括輸氣保護管路和壓力監控設備，輸氣保護管路包括內管和外管，內管的內部具有輸氣管道，外管套設在內管外，且內管的外周面和外管的內周面形成監測管道，輸氣管道用于輸送氣體，監測管道與輸氣管道相互隔絕，監測管道內的氣體壓強小于輸氣管道內的氣體壓強，壓力監控設備連接于外管，用于采集監測管道內的氣體壓強。相較于現有技術，本實用新型提供的一種氣體泄漏安全裝置，能夠及時發現泄漏情況并能夠阻止泄漏氣體向外擴散，提高了生產安全性。

技術領域

本實用新型涉及半導體氣體防護技術領域，具體而言，涉及一種氣體泄漏安全裝置以及氣體泄漏安全系統。

背景技術

半導體行業用的特殊氣體及劇毒化學品特別多，經常會有一些滲漏，腐蝕、管道擊穿和泄漏現象常有發生，輕者造成能源浪費、污染環境，尤其不能馬上控制處理泄漏，重者直接導致更多的人員傷亡，或公司直接破產關門。

在現有技術中，對于管道的泄漏往往是采取對管道的壁厚、焊接點等作重點監控，但是這種處理方式并不保險，當發生泄漏時無法阻止管道內的氣體的擴散，有巨大的安全隱患。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種氣體泄漏安全裝置，當管道內氣體發生泄漏時，能夠及時發現并能夠防止泄漏氣體的擴散，提高了生產的安全性。

本實用新型的另一目的在于提供一種氣體泄漏安全系統，能夠及時發現并阻止泄漏氣體的擴散，同時能夠對已經泄漏的氣體安全地進行尾氣處理，十分安全可靠。

本實用新型是采用以下的技術方案來實現的。

一種氣體泄漏安全裝置，包括輸氣保護管路和壓力監控設備，輸氣保護管路包括內管和外管，內管的內部具有輸氣管道，外管套設在內管外，且內管的外周面和外管的內周面形成監測管道，輸氣管道用于輸送氣體，監測管道與輸氣管道相互隔絕，監測管道內的氣體壓強小于輸氣管道內的氣體壓強，壓力監控設備連接于外管，用于采集監測管道內的氣體壓強。

進一步地，監測管道內為負壓。

進一步地，內管與外管均通過焊接制成。

進一步地，外管的焊接點處設置有連接護套。

進一步地，壓力監控設備包括壓力表和監控閥門，壓力表連接于外管，用于采集氣體壓強，監控閥門設置在外管和壓力表之間。

進一步地，壓力監控設備還包括報警器，報警器連接于壓力表，用于依據氣體壓強發出報警信號。

進一步地，氣體泄漏安全裝置還包括遠程控制設備和儲氣設備，輸氣保護管路連接于儲氣設備，遠程控制設備分別與壓力監控設備和儲氣設備通信連接，用于接收氣體壓強并依據氣體壓強關閉儲氣設備的出氣口。

一種氣體泄漏安全系統，包括尾氣處理設備、備用管和氣體泄漏安全裝置，該氣體泄漏安全裝置包括輸氣保護管路和壓力監控設備，輸氣保護管路包括內管和外管，內管的內部具有輸氣管道，外管套設在內管外，且內管的外周面和外管的內周面形成監測管道，輸氣管道用于輸送氣體，監測管道與輸氣管道相互隔絕，監測管道內的氣體壓強小于輸氣管道內的氣體壓強，壓力監控設備連接于外管，用于采集監測管道內的氣體壓強。備用管的一端連接于輸氣保護管路并與監測管道連通，另一端連接于尾氣處理設備。

進一步地，備用管靠近輸氣保護管路的一端設置有通氣閥門，備用管靠近尾氣處理設備的一端設置有第一尾氣處理閥門。

進一步地，氣體泄漏安全系統還包括用氣設備，用氣設備與輸氣保護管路連接，尾氣處理設備與用氣設備連接，且尾氣處理設備和用氣設備之間設置有第二尾氣處理閥門。

本實用新型具有以下有益效果：