[實用新型]一種酸堿化學輸送系統用機臺

有效

• 申請號: 201721664135.3
• 申請日: 2017-12-04
• 公開（公告）號: CN207621690U
• 公開（公告）日: 2018-07-17
• 發明（設計）人: 謝信弘
• 申請（專利權）人: 昆山羚羊機電安裝有限公司
• 主分類號: F17D5/02
• 分類號: F17D5/02;F17D3/01;F17D3/10;F17D1/08
• 代理公司: 北京權智天下知識產權代理事務所(普通合伙) 11638
• 代理人: 王新愛

本實用新型公開了一種酸堿化學輸送系統用機臺，包括機臺，機臺前部開有用于槽車填充的填充口，填充口下方的機臺上設有取樣區，所述機臺后方設有管路區，所述機臺右側設有電控區，管路區與電控區之間通過板材分隔開。通過上述方式，本實用新型布局錯落有致，美觀大方，拆卸方便，便于安裝和維修。

技術領域

本實用新型涉及化學品輸送系統領域，特別是涉及一種酸堿化學輸送系統用機臺。

背景技術

隨著我國半導體行業的繼續發展,芯片生產線在我國也已開始越來越規模化，其目的是實現對芯片上的雜質、微粒子進行清洗等。而作為半導體制程前端化學品輸送系統，將槽車內的原液輸送至廠區內的儲存槽，涉及到多種危險化學品輸送和應用，此類酸堿類化學品都具有高危害性，強腐蝕性。

但是現有的化學品輸送系統，是通過管道露天輸送至桶槽，不能有效保障輸送過程中的安全，不能自動控制原液的輸送，且沒有設置防漏措施，容易造成泄露卻沒有偵測報警，造成污染和傷害。

實用新型內容

本實用新型主要解決的技術問題是提供一種酸堿化學輸送系統用機臺，布局錯落有致，美觀大方，拆卸方便，便于安裝和維修。

為解決上述技術問題，本實用新型采用的一個技術方案是：提供一種酸堿化學輸送系統用機臺，包括機臺，所述機臺包括骨架和設在骨架上的板材；所述機臺前部開有用于槽車填充的填充口，填充口下方的機臺上設有取樣區，所述機臺后方設有管路區，所述機臺右側設有電控區，管路區與電控區之間通過板材分隔開。

進一步，所述機臺正面靠近填充口的位置設有人機界面和控制按鈕。

進一步，所述機臺的底部設置有泄露偵測器。

進一步，所述機臺側面對應管路區的位置設置有管路區開關門，機臺側面對應電控區的位置設置有電控區開關門。

進一步，所述骨架由方鋼焊接而成，所述板材采用PP磁白板。

本實用新型的有益效果是：本實用新型布局錯落有致，美觀大方，拆卸方便，便于安裝和維修。

附圖說明

圖1是本實用新型一種酸堿化學輸送系統用機臺一較佳實施例的主視結構示意圖；

圖2是所示一種酸堿化學輸送系統用機臺的右視結構示意圖；

圖3是所示一種酸堿化學輸送系統用機臺的剖視結構示意圖。

附圖中各部件的標記如下：1、機臺；2、填充口；3、取樣區；4、管路區開關門；5、電控區開關門。

具體實施方式

下面結合附圖對本實用新型的較佳實施例進行詳細闡述，以使本實用新型的優點和特征能更易于被本領域技術人員理解，從而對本實用新型的保護范圍做出更為清楚明確的界定。

請參閱圖1至圖3，本實用新型實施例包括：

一種酸堿化學輸送系統用機臺，包括機臺1，所述機臺包括骨架和設在骨架上的板材；所述機臺前部開有用于槽車填充的填充口2，填充口下方的機臺上設有取樣區3，所述機臺后方設有管路區，所述機臺右側設有電控區，管路區與電控區之間通過板材分隔開。所述機臺正面靠近填充口的位置設有人機界面和控制按鈕。所述機臺的底部設置有泄露偵測器。所述機臺側面對應管路區的位置設置有管路區開關門4，機臺側面對應電控區的位置設置有電控區開關門5。所述骨架由方鋼焊接而成，所述板材采用PP磁白板。本實用新型布局錯落有致，美觀大方，拆卸方便，便于安裝和維修。

以上所述僅為本實用新型的實施例，并非因此限制本實用新型的專利范圍，凡是利用本實用新型說明書及附圖內容所作的等效結構，或直接或間接運用在其他相關的技術領域，均同理包括在本實用新型的專利保護范圍內。