[實用新型]先驅氣體管控設備以及原子層沉積設備有效
| 申請號： | 201721663222.7 | 申請日： | 2017-12-04 |
| 公開（公告）號： | CN207581934U | 公開（公告）日： | 2018-07-06 |
| 發明（設計）人： | 雷奇奇 | 申請（專利權）人： | 武漢新芯集成電路制造有限公司 |
| 主分類號： | C23C16/455 | 分類號： | C23C16/455 |
| 代理公司： | 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李時云 |
| 地址： | 430205 湖北*** | 國省代碼： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 先驅氣體 管控設備 存儲箱 原子層沉積設備 流量控制器 制熱裝置 本實用新型 進氣方式 可控性 管控 制程 出口 排放 轉化 改進 | ||
1.一種先驅氣體管控設備，其特征在于，所述先驅氣體管控設備包括：
存儲箱，所述存儲箱包括箱體和制熱裝置，所述制熱裝置圍繞所述箱體，所述箱體用于裝載液態的先驅氣體；
流量控制器，所述流量控制器連接所述存儲箱的出口。
2.如權利要求1所述先驅氣體管控設備，其特征在于，所述箱體的形狀為球狀或圓柱體。
3.如權利要求1所述先驅氣體管控設備，其特征在于，所述制熱裝置包括多個制熱件，多個所述制熱件均勻分布。
4.如權利要求1-3中任意一項所述先驅氣體管控設備，其特征在于，所述制熱裝置還包括溫度控制器，所述溫度控制器用于控制所述存儲箱內的溫度。
5.如權利要求1-3中任意一項所述先驅氣體管控設備，其特征在于，所述制熱裝置圍繞所述箱體的內部設置。
6.如權利要求1-3中任意一項所述先驅氣體管控設備，其特征在于，所述流量控制器通過一閥門連接所述存儲箱的出口。
7.一種原子層沉積設備，其特征在于，所述原子層沉積設備包括如權利要求1-6所述的先驅氣體管控設備和反應腔，所述先驅氣體管控設備通過傳輸管路連接至所述反應腔內。
8.如權利要求7所述原子層沉積設備，其特征在于，所述傳輸管路包括預熱裝置，所述預熱裝置對所述傳輸管路內的氣體進行加熱。
9.如權利要求7或8所述原子層沉積設備，其特征在于，所述傳輸管路具有多個氣體噴嘴，多個所述氣體噴嘴在所述反應腔內均勻分布。
10.如權利要求7或8所述原子層沉積設備，其特征在于，所述傳輸管路的長度在100cm以內。
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C23C 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面擴散法，化學轉化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態化合物分解且表面材料的反應產物不留存于鍍層中的化學鍍覆，例如化學氣相沉積
C23C16-01 .在臨時基體上，例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機材料為特征的
