[實用新型]芯片測試治具與系統

有效

• 申請號: 201721649655.7
• 申請日: 2017-12-01
• 公開（公告）號: CN207799017U
• 公開（公告）日: 2018-08-31
• 發明（設計）人: 袁杰雄;宋海宏;沈丹禹
• 申請（專利權）人: 深圳市匯頂科技股份有限公司
• 主分類號: G01R31/28
• 分類號: G01R31/28;G01R1/04
• 代理公司: 上海晨皓知識產權代理事務所(普通合伙) 31260
• 代理人: 成麗杰

1.一種芯片測試治具，包括能夠相對移動的載臺與測試組件，所述載臺用于放置至少一待測芯片，所述測試組件用于按壓所述待測芯片以進行測試；其特征在于，所述芯片測試治具還包括壓力檢測裝置和行程檢測裝置的至少其中之一；

當所述芯片測試治具包括所述壓力檢測裝置時，所述壓力檢測裝置設置于所述載臺上對應于所述待測芯片位置，所述壓力檢測裝置用于輸出所述待測芯片受所述測試組件按壓的壓力值，以供控制裝置在判定出所述壓力值異常時觸發保護機制；

當所述芯片測試治具包括所述行程檢測裝置時，所述行程檢測裝置固定在所述測試組件或所述載臺上，且用于輸出所述測試組件與所述載臺之間的行程信息，以供控制裝置在判定出所述行程信息異常時觸發保護機制。

2.如權利要求1所述的芯片測試治具，其特征在于，當所述芯片測試治具包括所述壓力檢測裝置和所述行程檢測裝置時，所述壓力檢測裝置輸出所述壓力值且所述行程檢測裝置輸出所述行程信息，以供所述控制裝置在判斷出所述壓力值與所述行程信息的對應關系異常時觸發所述保護機制。

3.如權利要求1所述的芯片測試治具，其特征在于，當所述芯片測試治具包括所述壓力檢測裝置時，所述壓力檢測裝置包括多個壓力檢測單元；所述壓力檢測單元的數目與所述待測芯片的邊數相等，各所述壓力檢測單元分別設置在所述載臺上對應于所述待測芯片的各邊的位置。

4.如權利要求1或2所述的芯片測試治具，其特征在于，當所述芯片測試治具包括所述行程檢測裝置時，所述行程檢測裝置為距離傳感器。

5.如權利要求1或2所述的芯片測試治具，其特征在于，當所述芯片測試治具包括所述行程檢測裝置時，所述行程檢測裝置包括第一行程開關和第二行程開關；

當所述行程檢測裝置固定于所述測試組件時，所述第一行程開關在接觸所述載臺時被觸發，所述第二行程開關在接觸所述載臺時被觸發；當所述行程檢測裝置固定于所述載臺時，所述第一行程開關接觸所述測試組件時被觸發，所述第二行程開關在接觸所述測試組件時被觸發；

在所述測試組件與所述載臺相對移動的過程中，所述第一行程開關較所述第二行程開關先被觸發；所述第一行程開關被觸發且所述第二行程開關未被觸發時，所述行程檢測裝置輸出表征行程狀態正常的信息。

6.如權利要求1所述的芯片測試治具，其特征在于，所述載臺的表面覆蓋有第一緩沖層，所述待測芯片放置在所述第一緩沖層上。

7.如權利要求1所述的芯片測試治具，其特征在于，所述測試組件包括夾具、固定于所述夾具的測試板以及彈性測試頭，所述彈性測試頭的數目與所述待測芯片數目相等；所述彈性測試頭安裝在所述測試板上，且用于與所述待測芯片接觸。

8.如權利要求7所述的芯片測試治具，其特征在于，所述測試組件還包括安裝在所述夾具上且面對所述載臺的至少一限位塊，所述行程檢測裝置安裝在所述限位塊上且面對所述載臺、或者所述行程檢測裝置安裝在所述載臺上且面對所述限位塊，所述行程信息為所述限位塊與所述載臺之間的行程信息。

9.如權利要求7所述的芯片測試治具，其特征在于，所述彈性測試頭通過第二緩沖層安裝在所述測試板上。

10.如權利要求7所述的芯片測試治具，其特征在于，所述彈性測試頭包括固定于所述測試板的插座以及多根彈性探針；各所述彈性探針的第一端分別固定于所述插座，各所述彈性探針的第二端伸出所述插座且用于與所述待測芯片接觸。

11.如權利要求10所述的芯片測試治具，其特征在于，所述插座面對所述載臺的表面開設有容置槽，且所述容置槽內固定有第三緩沖層，各所述彈性探針的第一端均通過所述第三緩沖層固定于所述插座。

12.如權利要求10所述的芯片測試治具，其特征在于，所述插座面對所述載臺的表面覆蓋有第四緩沖層。