[實用新型]一種束流診斷高精度直線傳動裝置

有效

• 申請號: 201721642685.5
• 申請日: 2017-11-30
• 公開（公告）號: CN207473099U
• 公開（公告）日: 2018-06-08
• 發明（設計）人: 丁開忠;姚凱;陳永華;宋云濤;吳昱城;李君君;馮漢升;陳根
• 申請（專利權）人: 合肥中科離子醫學技術裝備有限公司
• 主分類號: G01T1/29
• 分類號: G01T1/29
• 代理公司: 北京和信華成知識產權代理事務所(普通合伙) 11390
• 代理人: 胡劍輝

1.一種束流診斷高精度直線傳動裝置，其特征在于，包括探頭(1)、傳動桿(2)、波紋管(3)、動密封(4)、電缸(5)、光柵尺(6)；

其中，所述傳動桿(2)與探頭(1)通過螺釘連接；傳動桿(2)穿過波紋管(3)和動密封(4)，波紋管(3)和動密封(4)通過CF超高真空法蘭連接；傳動桿(2)與動密封(4)通過O型密封圈(9)密封；

所述光柵尺(6)的讀數頭與電缸(5)的滑塊連接；所述電缸(5)與傳動桿(2)末端相連，所述傳動桿(2)在電缸(5)的驅動下沿著導向套(10)做往復直線運動。

2.根據權利要求1所述的一種束流診斷高精度直線傳動裝置，其特征在于，所述光柵尺(6)反饋補償距離到電缸(5)；電缸(5)和光柵尺(6)通過螺釘固定在支撐調節機構(7)上，支撐調節機構(7)固定在加速器外部。

3.根據權利要求1所述的一種束流診斷高精度直線傳動裝置，其特征在于，所述傳動桿(2)穿過波紋管(3)和動密封(4)，沿著動密封前進和后退；所述波紋管(3)一端與加速器束測通道連接，另一端與動密封連接。

4.根據權利要求1所述的一種束流診斷高精度直線傳動裝置，其特征在于，所述動密封(4)是與波紋管(3)的一端法蘭連接，動密封中間圓孔穿過與之相配的傳動桿；所述電缸(5)電缸驅動傳動桿(2)沿著唯一的方向進行直線運動，同時電缸提供不同的運動速度和運動模式。

5.根據權利要求2所述的一種束流診斷高精度直線傳動裝置，其特征在于，所述支撐調節機構(7)與電缸、光柵尺連接，其支撐平面的高度保證測量中心在同一水平面內。

6.根據權利要求1所述的一種束流診斷高精度直線傳動裝置，其特征在于，所述傳動桿(2)前端與探頭(1)連接，傳動桿(2)在電缸(5)的驅動下直線傳動，電缸(5)推動傳動桿(2)伸入加速器內部，將探頭傳送到不同的位置，從而進行實時測量，獲取束流的流強和位置信息。

7.根據權利要求1所述的一種束流診斷高精度直線傳動裝置，其特征在于，所述電缸(5)帶動傳動桿(2)在直線方向前進和后退，所運行速度保證在2-100mm/s；所述電缸(5)重復定位精度為0.02mm；所述光柵尺(6)精度為±0.005mm，其測量電缸運動的行程并給電缸提供補償。

8.根據權利要求1所述的一種束流診斷高精度直線傳動裝置，其特征在于，所述波紋管(3)與加速器測量通道的密封法蘭連接，傳動桿穿過動密封并連接，保證加速器的真空環境不被破壞，保證整個裝置漏率小于1.0×10^-10Pa.m³/s。

9.根據權利要求1所述的一種束流診斷高精度直線傳動裝置，其特征在于，所述傳動桿尾端安裝有多針feedthrough，前端根據需要更換不同類型的探頭，靶頭的信號線通過傳動桿內部與feedthrough連接，feedthrough與電子學相關設備連接完成信號采集工作，從而獲得束流的流強和位置信息。