[實用新型]預電離放電裝置和放電激勵氣體激光裝置

有效

• 申請號: 201721641158.2
• 申請日: 2017-11-30
• 公開（公告）號: CN207719578U
• 公開（公告）日: 2018-08-10
• 發明（設計）人: 伊藤貴志;勝海久和;藤卷洋介;田中誠
• 申請（專利權）人: 極光先進雷射株式會社
• 主分類號: H01S3/03
• 分類號: H01S3/03
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 陶海萍;王鍇

本實用新型提供一種預電離放電裝置和放電激勵氣體激光裝置，通過將用于固定保持部件的螺栓的軸向設置為與該保持部件夾持電介質管的方向一致，能夠通過螺栓的軸向力來抵消電介質管受到的外力，使得電介質管始終保持固定，能夠抑制由于外力等導致的電介質管的移位，從而保證了激光裝置輸出的穩定性。

技術領域

本實用新型涉及激光領域，尤其涉及一種預電離放電裝置和放電激勵氣體激光裝置。

背景技術

在放電激勵氣體激光裝置中，通常需要設置為了促使氣體主放電的點著而進行預電離的裝置。例如，作為現有技術的專利文獻1(JP2015-018910A)公開了一種預電離裝置，圖1是該現有技術的預電離裝置的示意圖。如圖1所示，預電離裝置100具有電介質管101、一對保持部件102、103、螺栓104以及金屬基座105，其中，一對保持部件102、103夾持電介質管101，保持部件102、103與金屬基座105連接，螺栓104沿著與保持部件102、103夾持電介質管101的方向(X方向)垂直的方向(Z方向)將保持部件102、103兩者固定在一起。

應該注意，上面對技術背景的介紹只是為了方便對本實用新型的技術方案進行清楚、完整的說明，并方便本領域技術人員的理解而闡述的。不能僅僅因為這些方案在本實用新型的背景技術部分進行了闡述而認為上述技術方案為本領域技術人員所公知。

實用新型內容

本實用新型的發明人發現，在上述現有的預電離裝置中，由于螺栓104沿著與保持部件102、103夾持電介質管101的方向(X方向)垂直的方向(Z方向)將保持部件102、103兩者固定在一起，在保持部件102、103夾持電介質管101的方向(X方向)上，僅依靠保持部件102、103與螺栓104的摩擦力來保持固定。當電介質管101在X方向受到較大的作用力時，例如，當由于瞬間沖擊等原因而導致電介質管101外側的預電離外部電極對該電介質管101在X方向上產生大于該摩擦力的作用力時，電介質管101發生移位，電介質管101外側的預電離外部電極與電介質管101之間將產生分離，導致主放電所必需的預電離放電變得不穩定，從而影響了激光裝置輸出的穩定性。

本實用新型實施例提供一種預電離放電裝置和放電激勵氣體激光裝置，將用于固定保持部件的螺栓的軸向設置為與該保持部件夾持電介質管的方向一致，能夠通過螺栓的軸向力來抵消電介質管受到的外力，使得電介質管始終保持固定，能夠抑制由于外力等導致的電介質管的移位，從而保證了激光裝置輸出的穩定性。

根據本實用新型實施例的第一方面，提供一種預電離放電裝置，其設置在放電激勵氣體激光裝置的激光腔室中，所述預電離放電裝置具有：電介質管；預電離內部電極，其設置在所述電介質管的內側；預電離外部電極，其設置在所述電介質管的外側；第一保持部件和第二保持部件，所述第一保持部件和所述第二保持部件通過夾持的方式對所述電介質管進行保持；以及螺栓，其用于固定所述第一保持部件和所述第二保持部件，所述螺栓的軸向與所述第一保持部件和所述第二保持部件夾持所述電介質管的方向一致。

根據本實用新型實施例的第二方面，其中，所述螺栓的軸向與所述電介質管的軸向垂直。

根據本實用新型實施例的第三方面，其中，所述第一保持部件通過所述螺栓固定在所述第二保持部件上。

根據本實用新型實施例的第四方面，其中，所述第一保持部件通過所述螺栓固定在金屬基座上，所述金屬基座與所述第二保持部件連接。

根據本實用新型實施例的第五方面，其中，所述第一保持部件具有第一表面和第二表面，所述第一表面具有與所述電介質管的外表面相適應的部分，所述第二表面為平面，所述第二保持部件具有第三表面，所述第三表面為平面，所述電介質管設置在所述第一保持部件的所述第二表面上，所述第一保持部件的所述第一表面和所述第二保持部件的所述第三表面與所述電介質管的外表面抵接。

根據本實用新型實施例的第六方面，其中，所述預電離放電裝置具有多個所述螺栓。