[實用新型]放電激勵式氣體激光裝置有效
| 申請號： | 201721638285.7 | 申請日： | 2017-11-30 |
| 公開（公告）號： | CN207753289U | 公開（公告）日： | 2018-08-21 |
| 發明（設計）人： | 柿崎弘司;野川博行;藪隆之 | 申請（專利權）人： | 極光先進雷射株式會社 |
| 主分類號： | H01S3/03 | 分類號： | H01S3/03;H01S3/038 |
| 代理公司： | 北京三友知識產權代理有限公司 11127 | 代理人： | 陶海萍;田勇 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 保持部件 放電電極 放電電路 電連接 激光腔 配線 氣體激光裝置 放電 導電性 本實用新型 電力損失 時間常數 直線狀 電阻 內壁 室內 配置 | ||
【權利要求書】：
1.一種放電激勵式氣體激光裝置，包括：
激光腔室，其具有第一放電電極以及由導電性的保持部件所保持的第二放電電極；
第一配線，其與所述第一放電電極電連接；
其特征在于，所述放電激勵式氣體激光裝置還包括：
第二配線，其一端與所述保持部件電連接，另一端與所述激光腔室的內壁電連接；所述第二配線從所述保持部件在所述激光腔室內被配置成直線狀。
2.根據權利要求1所述的放電激勵式氣體激光裝置，其中，在所述第二放電電極的長度方向上還具有沿著所述第二放電電極配置的絕緣部件。
3.根據權利要求2所述的放電激勵式氣體激光裝置，其中，在所述絕緣部件靠近所述第二放電電極的位置處形成有缺口部。
4.根據權利要求3所述的放電激勵式氣體激光裝置，其中，所述第二配線通過所述缺口部并且與所述保持部件連接。
5.根據權利要求3或4所述的放電激勵式氣體激光裝置，其中，所述缺口部沿著所述第二放電電極的長度方向設置有多個。
6.根據權利要求1至4任一項所述的放電激勵式氣體激光裝置，其中，所述第二配線被設置為所述放電激勵式氣體激光裝置的放電電路的一部分；并且所述放電電路的電阻分量基于所述第二配線而被確定。
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