[實(shí)用新型]雙電源供電系統(tǒng)及半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201721637983.5
• 申請(qǐng)日: 2017-11-30
• 公開（公告）號(hào): CN207853556U
• 公開（公告）日: 2018-09-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 石志平;洪紀(jì)倫;倪明明;吳宗祐;林宗賢
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 德淮半導(dǎo)體有限公司
• 主分類號(hào): H02J9/06
• 分類號(hào): H02J9/06;H01L21/67;H01L21/677
• 代理公司: 上海光華專利事務(wù)所(普通合伙) 31219
• 代理人: 余明偉

本實(shí)用新型提供一種雙電源供電系統(tǒng)及半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備，雙電源供電系統(tǒng)包括：用于提供交流電的總供電裝置；用于將總供電裝置提供的交流電進(jìn)行轉(zhuǎn)換后為負(fù)載供電的主供電電源；用于將總供電裝置提供的交流電進(jìn)行轉(zhuǎn)換后為負(fù)載供電的備用供電電源；用于通過自身切換實(shí)現(xiàn)總供電裝置與主供電電源電連接或?qū)崿F(xiàn)總供電裝置與備用供電電源電連接的自動(dòng)切換開關(guān)，自動(dòng)切換開關(guān)包括開關(guān)，開關(guān)與總供電裝置、主供電電源及備用供電電源相連接。本實(shí)用新型的雙電源供電系統(tǒng)通過同時(shí)設(shè)置主供電電源及備用供電電源，可以在主供電電源發(fā)生故障時(shí)切換至由備用供電電源為負(fù)載供電，保證負(fù)載在主供電電源故障時(shí)仍可以正常工作。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種雙電源供電系統(tǒng)及半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備。

背景技術(shù)

在現(xiàn)有半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備中，設(shè)備傳片通訊系統(tǒng)是使用單通訊，所述設(shè)備傳片通訊系統(tǒng)有 PMC(process module controller，工藝模塊控制器)及TMC(transfer modulecontroller，傳送模塊控制器)組成，其中，所述PMC及所述TMC均有同一個(gè)PS(powersystem)電源進(jìn)行供電，一旦所述PS電源發(fā)生故障，將會(huì)導(dǎo)致整個(gè)傳送硬件停止工作(shutdown)，從而造成設(shè)備硬件損壞或使得正在處理的晶圓掉落破片而導(dǎo)致晶圓報(bào)廢。

實(shí)用新型內(nèi)容

鑒于以上所述現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)，本實(shí)用新型的目的在于提供一種雙電源供電系統(tǒng)及半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備，用于解決現(xiàn)有技術(shù)中使用一個(gè)PS電源為PMC及TMC供電而導(dǎo)致的一旦所述 PS電源發(fā)生故障，將會(huì)導(dǎo)致整個(gè)傳送硬件停止工作，從而造成設(shè)備硬件損壞或晶圓報(bào)廢的問題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的及其他相關(guān)目的，本實(shí)用新型提供一種雙電源供電系統(tǒng)，所述雙電源供電系統(tǒng)包括：

用于提供交流電的總供電裝置；

用于將所述總供電裝置提供的交流電進(jìn)行轉(zhuǎn)換后為負(fù)載供電的主供電電源；

用于將所述總供電裝置提供的交流電進(jìn)行轉(zhuǎn)換后為負(fù)載供電的備用供電電源；

用于通過自身切換實(shí)現(xiàn)所述總供電裝置與所述主供電電源電連接或?qū)崿F(xiàn)所述總供電裝置與所述備用供電電源電連接的自動(dòng)切換開關(guān)，所述自動(dòng)切換開關(guān)包括開關(guān)，所述開關(guān)與所述總供電裝置、所述主供電電源及所述備用供電電源相連接。

優(yōu)選地，所述總供電裝置包括：

用于提供交流電的總供電電源；

用于將所述總供電電源提供的交流電進(jìn)行變壓轉(zhuǎn)換并分配的分電柜，所述分電柜與所述總供電電源及所述開關(guān)相連接。

優(yōu)選地，所述開關(guān)為單刀雙擲開關(guān)。

優(yōu)選地，所述開關(guān)包括：

兩個(gè)上下間隔排布的第一金屬觸點(diǎn)，其中，一個(gè)所述第一金屬觸點(diǎn)與所述主供電電源相連接，另一個(gè)所述第一金屬觸點(diǎn)與所述備用供電電源相連接；

至少一個(gè)可在兩個(gè)所述第一金屬觸點(diǎn)之間上下運(yùn)動(dòng)以與其中一所述第一金屬觸點(diǎn)接觸連接的第二金屬觸點(diǎn)，所述第二金屬觸點(diǎn)與所述總供電裝置相連接。

優(yōu)選地，所述開關(guān)還包括截面形狀為“工”字型的開關(guān)主體，所述開關(guān)主體包括：第一水平部、第二水平部及豎直部，其中，所述第一水平部與所述第二水平部上下平行間隔排布，所述豎直部位于所述第一水平部與所述第二水平部之間，且與所述第一水平部及所述第二水平部相連接；所述第二金屬觸點(diǎn)的數(shù)量為兩個(gè)，兩個(gè)所述第二金屬觸點(diǎn)分別位于所述第二水平部的上下表面。

優(yōu)選地，所述主供電電源包括：

用于將所述總供電裝置提供的交流電進(jìn)行變壓處理的第一變壓器，所述第一變壓器與所述開關(guān)相連接；

用于將所述第一變壓器變壓處理后的交流電轉(zhuǎn)換成直流電的第一轉(zhuǎn)換模塊，所述第一轉(zhuǎn)換模塊與所述第一變壓器相連接。