[實用新型]一種可自動調整傾斜角度的線性蒸鍍源擋板

有效

• 申請號: 201721629576.X
• 申請日: 2017-11-29
• 公開（公告）號: CN207537525U
• 公開（公告）日: 2018-06-26
• 發明（設計）人: 陳紅曉;曾興中;呂玉武;蔡曉義;柯賢軍;蘇君海;李建華
• 申請（專利權）人: 信利（惠州）智能顯示有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/50
• 代理公司: 廣州三環專利商標代理有限公司 44202
• 代理人: 鄧聰權

本實用新型公開了一種可自動調整傾斜角度的線性蒸鍍源擋板，在所述擋板上設置至少一個角度控制器，用于改變所述擋板的角度，所述角度控制器與控制系統連接，所述控制系統用于控制所述角度控制器不斷改變所述擋板的角度。采用該技術方案降低了材料分層的現象，提高了摻雜均勻性，改善了器件性能。

技術領域

本實用新型涉及電子器件制造技術領域，特別涉及一種可自動調整傾斜角度的線性蒸鍍源擋板。

背景技術

AMOLED器件制作在實現大尺寸方面使用了線性蒸鍍源，材料以蒸發的形式蒸鍍到基板玻璃上，有機腔體一般設置3個坩堝，部分腔體中間為摻雜材料，真空狀態下，材料以近乎直線的路徑蒸鍍到基板上，由于傳統擋板角度及高度固定，如圖1所示，擋板A與水平面成固定的90°，材料蒸鍍過程中，中間的材料與兩邊的材料有了明顯的分界，使得主體材料與摻雜材料容易形成一個明顯的界限，即所說的分層現象，蒸鍍源來回移動掃描過程中，導致蒸鍍到基板上的主體材料和中間摻雜材料不均勻，降低了器件性能。

實用新型內容

本實用新型實施例的目的在于提供一種可自動調整傾斜角度的線性蒸鍍源擋板，降低了材料分層的現象，提高了摻雜均勻性。

本實用新型實施例提供的一種可自動調整傾斜角度的線性蒸鍍源擋板，在所述擋板上設置至少一個角度控制器，用于改變所述擋板的角度，所述角度控制器與控制系統連接，所述控制系統用于控制所述角度控制器不斷改變所述擋板的角度。

可選地，所述擋板調整的角度范圍是與水平面成80°～100°。

可選地，所述角度控制裝置采用伺服電機，通過所述伺服電機來改變所述擋板的角度。

由上可見，應用本實施例技術方案，由于通過自動調整兩邊擋板的傾斜角度，改變主體材料蒸鍍到玻璃基板上的角度，降低材料分層的現象，提高摻雜均勻性，進而改善器件效果。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動性的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為現有技術中線性蒸鍍源擋板示意圖；

圖2為本實用新型提供的一種線性蒸鍍源擋板示意圖。

具體實施方式

下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例，本領域普通技術人員在沒有作出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。

實施例：

本實施例提供一種可自動調整傾斜角度的線性蒸鍍源擋板，如圖2所示，基板1、蒸鍍源2、擋板3、蒸鍍源噴嘴4、角度控制器5和坩堝6，在所述擋板3上設置兩個角度控制器5，用于改變所述擋板3的角度，所述角度控制器5與控制系統連接，所述控制系統用于控制所述角度控制器5不斷改變所述擋板3的角度。使固定的垂直擋板變成可傾斜的擋板，材料以一定角度蒸鍍到基板上，降低了鍍膜的區域的范圍，減弱了主體材料與摻雜材料的分層現象。可以但不限于，所述擋板3調整的角度范圍是與水平面成80°～100°。