[實用新型]一種蒸發源單元擋片有效

申請號：	201721629530.8	申請日：	2017-11-29
公開（公告）號：	CN207537524U	公開（公告）日：	2018-06-26
發明（設計）人：	王萃梓;曾興中;呂玉武;蔡曉義;柯賢軍;蘇君海;李建華	申請（專利權）人：	信利（惠州）智能顯示有限公司
主分類號：	C23C14/24	分類號：	C23C14/24
代理公司：	廣州三環專利商標代理有限公司 44202	代理人：	鄧聰權
地址：	516029 廣東***	國省代碼：	廣東;44
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摘要：
搜索關鍵詞：	擋片加熱絲網蒸發源絕緣導熱材料本實用新型噴嘴堵塞雙層結構增加生產電阻絲內層蒸鍍加熱預防
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【說明書】：

本實用新型涉及蒸鍍領域，公開了一種蒸發源單元擋片，所述單元擋片內設有加熱絲網，所述加熱絲網為雙層結構，內層為用于加熱的電阻絲，外層為多孔絕緣導熱材料。采用該技術方案能預防噴嘴堵塞的發生，增加生產效率。

技術領域

本實用新型涉及蒸鍍領域，特別涉及一種蒸發源單元擋片。

背景技術

AMOLED顯示技術是新一代顯示技術，它比傳統液晶顯示器使用壽命更長，色純度更高更飽和、可以做到液晶顯示技術做不到的可折疊式顯示屏，受到市場以及研發機構的青睞。AMOLED顯示技術核心工藝之一是蒸鍍，現有的蒸鍍設備一般采用線性源進行有機薄膜的制備，每個線性源都有多個線性蒸發源組成，根據具體需要，在正式生產前，需要對每個線性蒸發源進行膜厚確認，從而確保實際的蒸鍍膜厚與設計膜厚一致。

在蒸鍍設備設計中，除需測試蒸發源之外其余蒸發源采用單元擋片進行遮擋，降低不在測試范圍內的蒸發源對被測試蒸發源數據造成影響，從而分別對單個線性源坩堝進行膜厚校正。單元擋片在使用過程中被測試蒸發源蒸發出來的材料會大量堆積在其表面，當材料堆積過多，線性源在掃描的過程中，因震動或者其他原因部分材料從單元擋片上掉落，使蒸發源噴嘴堵塞，導致設備停機，影響生產效率。

實用新型內容

本實用新型實施例的目的在于提供一種蒸發源單元擋片，能預防噴嘴堵塞的發生，增加生產效率。

本實用新型實施例提供的一種蒸發源單元擋片，所述單元擋片內設有加熱絲網，所述加熱絲網為雙層結構，內層為用于加熱的電阻絲，外層為多孔絕緣導熱材料。

可選地，所述單元擋片固定在蒸發源的固定支架上。

可選地，所述單元擋片通過鐵桿固定在所述固定支架上。

可選地，所述鐵桿上設有用于固定所述單元擋片的矩形槽，所述矩形槽套接在所述固定支架上。

可選地，所述固定支架上還設有用于改變材料噴射角度的分層擋板。

可選地，還包括用于固定所述加熱絲網的鐵片。

可選地，還設有所述電阻絲外接的通道。

由上可見，應用本實施例技術方案，由于采用單元擋片內加熱絲網的設計，既能吸附不在入射角的材料，減少材料分子之間的碰撞有利于蒸鍍的均勻性，當材料堆積過多時能蒸發掉沉積過多的材料，預防噴嘴堵塞的發生，增加生產效率和產能。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動性的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。