[實(shí)用新型]一種X-CT系統(tǒng)用測(cè)量夾具

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201721626135.4
• 申請(qǐng)日: 2017-11-27
• 公開（公告）號(hào): CN207457105U
• 公開（公告）日: 2018-06-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 荊曉冬;梁法國(guó);鄭世棋;吳愛華;翟玉衛(wèi);王一幫;劉晨;喬玉娥
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第十三研究所
• 主分類號(hào): G01N23/046
• 分類號(hào): G01N23/046
• 代理公司: 石家莊國(guó)為知識(shí)產(chǎn)權(quán)事務(wù)所 13120
• 代理人: 張二群

本實(shí)用新型公開了一種X?CT系統(tǒng)用測(cè)量夾具，屬于測(cè)試夾具領(lǐng)域。所述測(cè)量夾具包括：樣品臺(tái)，底面設(shè)置與掃描轉(zhuǎn)臺(tái)匹配的定位凹臺(tái)；載片柱，下部與所述樣品臺(tái)螺紋連接，且所述載片柱的旋轉(zhuǎn)軸與所述樣品臺(tái)的旋轉(zhuǎn)軸平行，中部為柱體，上部為設(shè)置在所述柱體頂面上、與所述柱體成一體結(jié)構(gòu)的透明薄板；膠片，用于粘結(jié)待測(cè)器件，粘貼在所述透明薄板的表面。上述技術(shù)方案中，透明薄板不會(huì)相對(duì)樣品臺(tái)產(chǎn)生相對(duì)位移，進(jìn)而微小器件也不會(huì)發(fā)生位移，測(cè)量結(jié)果準(zhǔn)確、可靠，同時(shí)透明薄板減小了對(duì)X射線的衰減，實(shí)現(xiàn)了用X?CT高準(zhǔn)確度地測(cè)量微小器件的結(jié)構(gòu)，填補(bǔ)了微小器件測(cè)試夾具的空白。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型屬于測(cè)試夾具技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種X-CT系統(tǒng)用測(cè)量夾具，用于夾持測(cè)量半導(dǎo)體芯片微米級(jí)結(jié)構(gòu)的三維形貌。

背景技術(shù)

X-CT(X-ray computed tomography，X射線電子計(jì)算機(jī)斷層掃描)技術(shù)是運(yùn)用物理技術(shù)，以測(cè)定X射線在物體內(nèi)的衰減系數(shù)為基礎(chǔ)，采用數(shù)學(xué)方法，經(jīng)計(jì)算機(jī)處理，求解出衰減系數(shù)值在物體某剖面上的二維分布矩陣，轉(zhuǎn)變?yōu)閳D像上的灰度分布，從而實(shí)現(xiàn)重新建立斷面圖像的成像技術(shù)。

X-CT技術(shù)多應(yīng)用于醫(yī)學(xué)影像之中，通過X-CT建立人體內(nèi)部病變處斷面的圖像，能夠幫助醫(yī)生觀測(cè)患者病情。隨著科技的發(fā)展，X-CT逐漸被更多地應(yīng)用在醫(yī)學(xué)以外的領(lǐng)域，如工業(yè)檢測(cè)、安保檢測(cè)、科研測(cè)量、3D成像等領(lǐng)域。

利用顯微X-CT技術(shù)能夠完成微米量級(jí)物體三維形貌的測(cè)量工作。在測(cè)量過程中，被測(cè)樣品由測(cè)量夾具固定在360°旋轉(zhuǎn)的掃描轉(zhuǎn)臺(tái)上，從各個(gè)角度獲取大量的圖像信息，之后將各個(gè)角度的圖像信息分析整合，最終重建出被測(cè)物體表面或內(nèi)部結(jié)構(gòu)的三維形貌。

現(xiàn)有測(cè)量夾具多用于測(cè)量體積較大的樣品上微米級(jí)結(jié)構(gòu)的三維形貌，不適用于測(cè)量體積很小的半導(dǎo)體芯片等微小器件上的微米級(jí)結(jié)構(gòu)。原因分析如下：現(xiàn)有測(cè)量夾具的結(jié)構(gòu)中包括與所述掃描轉(zhuǎn)臺(tái)定位的樣品臺(tái)，在所述樣品臺(tái)上活動(dòng)限位有兩片平行的金屬板，通過調(diào)節(jié)貫穿所述金屬板的定位銷和螺柱來調(diào)節(jié)兩者之間距離，進(jìn)而達(dá)到夾緊并定位被測(cè)物體的效果。

然而，現(xiàn)有夾具兩金屬板之間的最小間距為2.5mm，對(duì)于微小器件而言，如1500μm×1500μm的芯片而言，該間隙太大，采用現(xiàn)有夾具無法可靠固定，尤其當(dāng)掃描微米量級(jí)結(jié)構(gòu)時(shí)，需要將近16個(gè)小時(shí)，在長(zhǎng)時(shí)間的掃描過程中，若被測(cè)物體在某一時(shí)刻出現(xiàn)偏移晃動(dòng)，會(huì)導(dǎo)致最終重構(gòu)出的圖像與實(shí)際不同，可靠性很差，或者定位方式影響圖像采集。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型實(shí)施例的目的在于提供一種X-CT系統(tǒng)用測(cè)量夾具，旨在解決現(xiàn)有測(cè)量夾具不能有效固定微小器件、造成測(cè)量偏差很大的問題。

本實(shí)用新型實(shí)施例是這樣實(shí)現(xiàn)的，一種X-CT系統(tǒng)用測(cè)量夾具，包括：

樣品臺(tái)，底面設(shè)置與掃描轉(zhuǎn)臺(tái)匹配的定位凹臺(tái)；

載片柱，下部與所述樣品臺(tái)固定連接，且所述載片柱的旋轉(zhuǎn)軸與所述樣品臺(tái)的旋轉(zhuǎn)軸平行，中部為柱體，上部為設(shè)置在所述柱體頂面上、與所述柱體成一體結(jié)構(gòu)的透明薄板；

膠片，用于粘結(jié)待測(cè)器件，設(shè)置在所述透明薄板的表面。

進(jìn)一步地，還包括：透明保護(hù)罩，設(shè)置在所述芯片粘貼板的外周，且下端與所述載片柱的中部過盈配合。

本實(shí)用新型實(shí)施例的有益效果在于：所述樣品臺(tái)與載片柱固定連接，在所述載片柱上設(shè)置一體結(jié)構(gòu)的透明薄板，所述透明薄板用于粘貼待測(cè)的微小器件，實(shí)現(xiàn)微小器件的可靠定位，在掃描旋轉(zhuǎn)過程中，透明薄板不會(huì)相對(duì)樣品臺(tái)產(chǎn)生相對(duì)位移，進(jìn)而微小器件也不會(huì)發(fā)生位移，測(cè)量結(jié)果準(zhǔn)確、可靠，同時(shí)透明薄板減小了對(duì)X射線的衰減，實(shí)現(xiàn)了用X-CT高準(zhǔn)確度地測(cè)量微小器件的結(jié)構(gòu)，填補(bǔ)了微小器件測(cè)試夾具的空白。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例一提供的測(cè)量夾具的立體結(jié)構(gòu)示意圖；