[實用新型]一種超純潔凈氣體過濾裝置

有效

• 申請號: 201721624870.1
• 申請日: 2017-11-28
• 公開（公告）號: CN207708717U
• 公開（公告）日: 2018-08-10
• 發明（設計）人: 徐小明;黃平;何晟
• 申請（專利權）人: 飛潮（無錫）過濾技術有限公司
• 主分類號: B01D46/24
• 分類號: B01D46/24;B01D46/00
• 代理公司: 無錫華源專利商標事務所(普通合伙) 32228
• 代理人: 孫力堅;聶啟新

本實用新型涉及一種超純潔凈氣體過濾裝置，包括外殼，所述外殼包括筒體，筒體兩端連接封頭，封頭分別連接入口接頭和出口接頭，所述外殼內設置若干濾芯，所述濾芯中空，且一端封閉一端開口，所述濾芯開口一端固定在花盤上，濾芯另一端穿在固定在筒體內的布氣壓板上，所述布氣壓板上均勻開設若干布氣孔，所述超純潔凈氣體過濾裝置，可過濾產生超純潔凈氣體，且過濾效率高，結構強度好，使用壽命更長。

技術領域

本實用新型涉及過濾裝置，尤其涉及一種超純潔凈氣體過濾裝置。

背景技術

超純潔凈氣體由氫、氧、氮、氬、氦、氨、二氧化銨、四氧化碳各類氣體氫化物及二元或三元以上的混合氣等組成，它們大部分是從空氣、天然氣、石油化工和合成氨廠的殘余氣體中提取后進一步精制得到，根據原料氣來源情況、雜質組份含量、純度要求來選擇相應的制備方法；集成電路發展到兆位級后，對超凈提出了更嚴格要求，在超純氣體或電子氣體供氣系統中，為了脫除由于振動或氣流沖擊所造成的脫落粒子，在使用氣前須安裝過濾器。

實用新型內容

本申請人針對以上缺點，進行了研究改進，提供一種超純潔凈氣體過濾裝置。

本實用新型所采用的技術方案如下：

一種超純潔凈氣體過濾裝置，包括外殼，所述外殼包括筒體，筒體兩端連接封頭，封頭分別連接入口接頭和出口接頭，所述外殼內設置若干濾芯，所述濾芯中空，且一端封閉一端開口，所述濾芯開口一端固定在花盤上，濾芯另一端穿在固定在筒體內的布氣壓板上，所述布氣壓板上均勻開設若干布氣孔。

作為上述技術方案的進一步改進：

所述入口接頭和出口接頭均為VCR接頭。

所述濾芯為多孔金屬燒結濾芯。

本實用新型的有益效果如下：所述超純潔凈氣體過濾裝置，將待處理氣體通過入口接頭進入外殼，通過布氣壓板均勻布氣，進入濾芯筒，通過濾芯過濾即可產生超純凈氣體，且超純潔凈氣體過濾裝置，能耐更高的溫度和壓力，過濾效率更高，結構強度更好，且使用壽命更長。

附圖說明

圖1為本實用新型提供的超純潔凈氣體過濾裝置的剖視圖。

圖2為本實用新型提供的超純潔凈氣體過濾裝置布氣壓板的示意圖。

圖中：1、筒體；2、封頭；3、入口接頭；4、出口接頭；5、濾芯；6、花盤；7、布氣壓板。

具體實施方式

下面結合附圖，說明本實用新型的具體實施方式。

如圖1、圖2所示，本實施例的超純潔凈氣體過濾裝置，包括外殼，外殼包括筒體1，筒體1由壓板段、中間段和花盤段三段密封焊接而成，筒體1壓板段和花盤段密封焊接封頭2，所述外殼和封頭內部必須拋光至Ra0.2，防止內部污,封頭2分別連接入口接頭3和出口接頭4，入口接頭3和出口接頭4均為VCR接頭，將泄露率降低為4X10-9std cm3/s,有效避免氣源泄露造成的危險，外殼內設置四根濾芯5，濾芯5由多孔金屬燒結材料制成，濾芯5中空，且一端封閉一端開口，濾芯5的開口端固定在花盤6上，濾芯5另一端穿在固定在筒體1內的布氣壓板7上，布氣壓板7上均勻開設若干布氣孔,所述超純潔凈氣體過濾裝置制造完成后需經過嚴格的保壓、氦檢漏、顆粒度和水分的測試。

所述超純潔凈氣體過濾裝置使用時，待處理氣體通過入口接頭3進入外殼內，待處理氣體通過封頭2和布氣壓板7上的布氣孔均勻布氣，提高單根濾芯5的過濾效果，更有效延長了過濾裝置的使用壽命，氣體穿過濾芯5，進行過濾，過濾后從濾芯5開口一端排出，形成超純潔凈氣體，最后超純潔凈氣體從封頭2和出口接頭4排出外殼外。