[實用新型]工件、化學氣相沉積裝置和插銷

有效

• 申請號: 201721619938.7
• 申請日: 2017-11-24
• 公開（公告）號: CN207661172U
• 公開（公告）日: 2018-07-27
• 發明（設計）人: 張明
• 申請（專利權）人: 武漢新芯集成電路制造有限公司
• 主分類號: F16K15/02
• 分類號: F16K15/02;F16K15/06;F16K1/32;C23C16/00
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

1.一種工件，其特征在于，包括工件本體、第一通道、升降銷和第二通道，所述第一通道和所述第二通道設置在所述工件本體內，且所述第一通道和所述第二通道均與所述工件本體的外表面連通，所述第一通道與所述第二通道連通，所述工件具有第一狀態和第二狀態：

在第一狀態下，所述升降銷的一端設置于所述工件本體的外表面的內側，所述升降銷的另一端設置于所述第二通道內；

在第二狀態下，所述升降銷的一端設置于所述工件本體的外表面的外側，所述升降銷的另一端設置于所述第二通道內或者設置于所述第一通道與所述第二通道連通處。

2.如權利要求1所述的工件，其特征在于，還包括彈性件，所述彈性件設置在所述第一通道內，所述彈性件分別與所述工件本體和所述升降銷固定連接，在第二狀態下，所述彈性件具有使所述升降銷的一端回復到所述工件本體的外表面的內側的趨勢。

3.如權利要求2所述的工件，其特征在于，所述彈性件為彈簧，所述彈簧的一端與所述工件本體固定連接，所述彈簧的另一端與所述升降銷固定連接。

4.如權利要求1所述的工件，其特征在于，所述升降銷的另一端為半球、楔形或者圓錐體中的一種。

5.如權利要求1所述的工件，其特征在于，所述第一通道和所述第二通道垂直設置。

6.如權利要求1所述的工件，其特征在于，所述第一通道和所述第二通道同軸設置。

7.如權利要求1所述的工件，其特征在于，所述工件的材質為陶瓷。

8.如權利要求1所述的工件，其特征在于，所述第一通道的數量為兩個，所述升降銷的數量為兩個，兩個所述升降銷分別設置在兩個所述第一通道內，兩個所述第一通道同軸設置，兩個所述第一通道與所述第二通道垂直設置；所述工件還包括兩個彈性件，一個所述彈性件設置在一個所述第一通道內，另一個所述彈性件設置在另一個所述第一通道內，每個所述彈性件分別與所述工件本體和一個所述升降銷固定連接，在第二狀態下，每個所述彈性件具有使所述升降銷的一端回復到所述工件本體的外表面的內側的趨勢。

9.一種化學氣相沉積裝置，其特征在于，包括如權利要求1至8任一項所述的工件。

10.一種插銷，其特征在于，所述插銷可插入到如權利要求1至8任一項所述的工件的第二通道中，所述插銷用于使工件處于第二狀態。