[實用新型]一種化學氣相沉積裝置

有效

• 申請號: 201721608552.6
• 申請日: 2017-11-24
• 公開（公告）號: CN207581930U
• 公開（公告）日: 2018-07-06
• 發明（設計）人: 袁洋
• 申請（專利權）人: 武漢新芯集成電路制造有限公司
• 主分類號: C23C16/44
• 分類號: C23C16/44
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

1.一種化學氣相沉積裝置，其特征在于，包括：氣體分配盒和腔室本體，所述腔室本體具有至少兩個螺紋孔，所述氣體分配盒上設置有與所述螺紋孔相匹配的通孔，所述化學氣相沉積裝置還包括至少兩個定位銷，所述定位銷通過所述螺紋孔與所述腔室本體可拆卸連接，所述定位銷部分設置在所述氣體分配盒上的通孔內，所述定位銷設置在所述通孔內的部分的最大外徑與所述通孔的最小孔徑相等。

2.如權利要求1所述的化學氣相沉積裝置，其特征在于，所述定位銷至少有部分穿過所述氣體分配盒上的通孔。

3.如權利要求1或者2任一項所述的化學氣相沉積裝置，其特征在于，所述定位銷具有一拆卸部，所述拆卸部用于將所述定位銷從所述腔室本體上拆卸下來。

4.如權利要求3所述的化學氣相沉積裝置，其特征在于，所述拆卸部為內六角孔，所述定位銷遠離所述腔室本體和氣體分配盒的一端為頂端，所述內六角孔開設在所述定位銷的頂端的中心處。

5.如權利要求3所述的化學氣相沉積裝置，其特征在于，所述定位銷包括第一圓柱段和第二圓柱段，所述第一圓柱段與所述第二圓柱段固定連接，所述第一圓柱段遠離所述第二圓柱段的一端與所述腔室本體固定連接，所述第二圓柱段部分設置在所述氣體分配盒的通孔內。

6.如權利要求5所述的化學氣相沉積裝置，其特征在于，所述定位銷還包括圓錐段，所述圓錐段的大端與所述第二圓柱段遠離所述第一圓柱段的一端固定連接。

7.如權利要求1所述的化學氣相沉積裝置，其特征在于，所述螺紋孔的數量為六個，且六個所述螺紋孔均勻分布。

8.如權利要求7所述的化學氣相沉積裝置，其特征在于，所述定位銷的數量為兩個。

9.如權利要求8所述的化學氣相沉積裝置，其特征在于，兩個所述定位銷關于六個所述螺紋孔的中心中心對稱。

10.如權利要求1所述的化學氣相沉積裝置，其特征在于，所述定位銷的材質為不銹鋼。