[實用新型]一種硅片脫膠固定裝置

有效

• 申請號: 201721602212.2
• 申請日: 2017-11-27
• 公開（公告）號: CN207615328U
• 公開（公告）日: 2018-07-17
• 發明（設計）人: 陳忠海
• 申請（專利權）人: 蘇州德瑞姆超聲科技有限公司
• 主分類號: B08B13/00
• 分類號: B08B13/00
• 代理公司: 蘇州凱謙巨邦專利代理事務所(普通合伙) 32303
• 代理人: 丁劍

本實用新型公開了一種硅片脫膠固定裝置，包括底座，所述底座上固定有兩個相互平行的支撐板，支撐板左右兩側設有第二滑槽，第二滑槽與支撐腿滑動連接，所述底座上表面固定有齒條，齒條設置在支撐板的右側，齒條上方設置有與其相嚙合的齒輪，齒輪安裝在電機的主軸上，電機固定在底板的右側下表面，所述底座上安裝有支撐架，支撐架的右側方安裝有PLC控制器，支撐架的中部與電動伸縮桿的上端連接，電動伸縮桿下端設有安裝板，安裝板上安裝有電磁吸盤，支撐腿的上端設有底板，底板上方設有載物槽，載物槽的左側安裝固定擋板。靈活可控，且可以有效固定，減少碎片率，整個裝置簡單，操作方便。

技術領域

本實用新型涉及硅片脫膠裝置技術領域，具體為一種硅片脫膠固定裝置。

背景技術

在硅片脫膠環節中，硅片需要加以固定后脫膠才能保證硅片不出現隨意傾倒的現象，現行技術中多采用在硅片間間隔一段距離插入隔板的方法來固定硅片。但是此方法硅片仍然會傾斜，且固定效果較差，后續操作中使硅片碎片，隱裂，造成經濟損失。

實用新型內容

本實用新型要解決的技術問題是克服現有的缺陷，提供一種硅片脫膠固定裝置，操作方便，固定效果相對于傳統方式更好，可以有效解決背景技術中的問題。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：一種硅片脫膠固定裝置，包括底座，所述底座上固定有兩個相互平行的支撐板，支撐板左右兩側設有第二滑槽，第二滑槽與支撐腿滑動連接，所述底座上表面固定有齒條，齒條設置在支撐板的右側，齒條上方設置有與其相嚙合的齒輪，齒輪安裝在電機的主軸上，電機固定在底板的右側下表面，所述底座上安裝有支撐架，支撐架的右側方安裝有PLC控制器，支撐架的中部與電動伸縮桿的上端連接，電動伸縮桿下端設有安裝板，安裝板上安裝有電磁吸盤，支撐腿的上端設有底板，底板上方設有載物槽，載物槽的左側安裝固定擋板，載物槽的右側滑動連接有滑動擋板，所述支撐架的內側和載物槽的右側對應安裝有光電開關，所述PLC控制器的輸入端分別與光電開關和外部電源的輸出端電連接，PLC控制器的輸出端與電動伸縮桿、電磁吸盤和電機的輸入端電連接。

作為本實用新型的一種優選技術方案，所述左側的固定擋板的上部兩端分別與兩個調節螺桿的一端固定連接，兩個調節螺桿的另一端分別貫穿右側的滑動擋板兩端并安裝螺母。

作為本實用新型的一種優選技術方案，所述調節螺桿的數量為兩個，且兩個調節螺桿設置在固定擋板的前后兩側。

作為本實用新型的一種優選技術方案，所述載物槽的數量不少于十個，載物槽均勻平行分布在底板的上方。

作為本實用新型的一種優選技術方案，所述載物槽的形狀為V型，載物槽由橡膠材料制成。

作為本實用新型的一種優選技術方案，所述底板的上表面前后兩側均設有第一滑槽，滑動擋板的前后兩側下端設有與第一滑槽相配合的滑塊。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果是：本硅片脫膠固定裝置，采用的載物槽形狀為V型，可以有效且牢固的固定硅片，且載物槽的材質為橡膠，橡膠可以有效的保護硅片，最大程度上減少了硅片的碎片率，載物槽的左右兩側都有擋板，右側擋板可以滑動，在裝載不同尺寸的硅片時可以靈活調節，并且有效固定，整個裝置簡單，操作方便，固定效果相對于傳統方式更好。

附圖說明

圖1為本實用新型結構示意圖。

圖中：1底座、2支撐板、3齒條、4支撐架、5PLC控制器、6光電開關、7齒輪、8滑動擋板、9調節螺桿、10螺母、11載物槽、12電動伸縮桿、13電磁吸盤、14固定擋板、15第一滑槽、16滑塊、17支撐腿、18第二滑槽、19電機、20底板。

具體實施方式