[實用新型]一種用于重稀土擴滲的設備及生產線

有效

• 申請號: 201721594169.X
• 申請日: 2017-11-24
• 公開（公告）號: CN207498453U
• 公開（公告）日: 2018-06-15
• 發明（設計）人: 鄭錫銘;張永軍;王青春
• 申請（專利權）人: 北京七星華創磁電科技有限公司
• 主分類號: C23C10/28
• 分類號: C23C10/28
• 代理公司: 北京路浩知識產權代理有限公司 11002
• 代理人: 王瑩;吳歡燕

本實用新型提供一種用于重稀土擴滲的設備，包括真空爐、加熱系統、氣源、真空泵組和控制單元；其中，加熱系統包括加熱箱，加熱箱設于真空爐內，且加熱箱內設有物料支撐件，用于承載工件；氣源通過進氣管路與真空爐連通，且進氣管路上設有進氣閥；真空泵組通過抽氣管路與真空爐連通，且抽氣管路上設有高真空閥；加熱箱、進氣閥、高真空閥與真空泵組與控制單元連接，控制單元控制加熱箱的運行，對工件進行熱處理以實現重稀土擴滲。本實用新型提供一種用于重稀土擴滲的生產線，包括上述設備。熱處理過程中，氣源和真空泵組向真空爐內充放氣，溫度分布更加均勻。真空泵組持續抽取工件產生的廢氣，潔凈度高；工件在加熱箱內進行熱處理，產品品質高。

技術領域

本實用新型涉及重稀土擴滲工藝領域，具體涉及一種用于重稀土擴滲的設備及生產線。

背景技術

為了獲得更高矯頑力的產品，目前磁性材料行業工業生產中，普遍采用在熔煉過程中摻雜重稀土材料，即在熔煉過程中加入的，即把重稀土元素一同熔煉，這樣的工藝使磁體晶內主相和晶界都含有重稀土元素，矯頑力大大增加。為更有效的獲得磁體較高性能。之后又采用重稀土晶界擴滲的工藝，可以有效降低重稀土使用量，使重稀土元素只存在于晶界中，這樣更容易來獲得高性能的磁體。

目前的重稀土擴滲過程主要包括：通過蒸鍍法或涂覆法在工件表面形成一層含有重稀土元素的薄膜后，并對其進行高溫熱擴散和回火處理，使重稀土元素滲透入磁性材料中，完成重稀土擴滲。

但目前的磁性材料燒結設備在使用過程中存在以下缺陷：1)工作腔內的溫度分布不均勻；2)工件產生的廢氣量大，且不能及時排除工作腔，導致工作腔內的潔凈度低。無法滿足重稀土擴滲工藝中對設備的要求，影響工件品質。

實用新型內容

(一)要解決的技術問題

本實用新型旨在至少解決現有技術或相關技術中存在的技術問題之一。為此，本實用新型的一個目的在于提出一種潔凈度高，溫度分布均勻的用于重稀土擴滲的設備及生產線。

(二)技術方案

為了解決上述技術問題，本實用新型提供一種用于重稀土擴滲的設備，包括真空爐、加熱系統、氣源、真空泵組和控制單元；其中，所述加熱系統包括加熱箱，所述加熱箱設于所述真空爐內，且所述加熱箱內設有物料支撐件，用于承載工件；所述氣源通過進氣管路與所述真空爐連通，且所述進氣管路上設有進氣閥；所述真空泵組通過抽氣管路與所述真空爐連通，且所述抽氣管路上設有高真空閥；所述加熱箱、進氣閥、高真空閥與真空泵組分別與所述控制單元連接，所述控制單元用于控制所述加熱箱的運行，對所述工件進行熱處理以實現重稀土擴滲。

其中，所述加熱箱包括隔熱反射屏、支撐框架和加熱器；所述隔熱反射屏鋪設在所述支撐框架上構成箱體，所述加熱器設于所述箱體內，并與所述控制單元連接。

其中，所述真空爐包括前爐門、爐體和后爐門，所述支撐框架由兩個第一邊框與多個第二邊框構成，且兩個所述第一邊框分別與所述前爐門和后爐門相對設置，所述隔熱反射屏鋪設在所述第一邊框上與第二邊框上。

其中，所述隔熱反射屏均為矩形結構。

其中，所述第一邊框和鋪設于所述第一邊框上的隔熱放射屏均為六邊形結構或八邊形結構。

其中，所述支撐框架的底部設有支撐輪，所述支撐框架的頂部設有吊桿，所述支撐框架通過所述支撐輪和吊桿與所述真空爐的爐體連接。

其中，所述真空泵組包括多級真空泵組，所述控制單元根據目標控制壓力的大小，控制所述多級真空泵組的抽速，以實現所述真空爐內的壓力調節。