[實用新型]一種12寸晶元去氣泡抽真空烤箱有效
| 申請號： | 201721587556.0 | 申請日： | 2017-11-24 |
| 公開（公告）號： | CN207765410U | 公開（公告）日： | 2018-08-24 |
| 發明（設計）人： | 安小敏;劉漢東;丁道路 | 申請（專利權）人： | 合肥真萍電子科技有限公司 |
| 主分類號： | H01L21/67 | 分類號： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 安徽合肥華信知識產權代理有限公司 34112 | 代理人： | 余成俊 |
| 地址： | 230000 安徽省*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 本實用新型 抽真空烤箱 單扇門 控制箱 晶元 密封條 氮氣 不銹鋼材料 電阻真空計 硅橡膠材料 進氣電磁閥 手動調壓閥 壓力傳感器 數字式 操作面板 氮氣填充 對流傳熱 輔助裝置 環保意識 氣體分子 清潔衛生 使用空間 室內氣體 壓強變化 操作箱 抽氣管 電阻規 熱傳導 人性化 工作室 電阻 氣路 顯示屏 測量 配合 | ||
1.一種12寸晶元去氣泡抽真空烤箱，包括箱體(1)，其特征在于：所述箱體(1)前側設有單扇門(2)，所述單扇門(2)一側設有控制箱(3)，所述控制箱(3)上設有操作面板(4)，所述操作面板上設有顯示屏(5)，所述顯示屏(5)底部設有電阻真空計(6)，所述箱體(1)內腔設有工作室(7)，所述工作室(7)一側設有手動調壓閥(8)，所述工作室(7)外壁設有保溫層(9)，所述保溫層(9)外壁設有支撐肋(10)，所述工作室(7)一端設有密封條(11)以及另一端設有抽氣管(12)，所述抽氣管(12)內設有進氣電磁閥(16)，所述工作室(7)內腔設有壓力傳感器(13)，所述壓力傳感器(13)一側設有管道(14)，所述管道(14)一端設有真空泵(15)，所述箱體(1)底部設有移動腳輪(17)，所述移動腳輪(17)一側設有水平支撐架(18)。
2.根據權利要求1所述的一種12寸晶元去氣泡抽真空烤箱，其特征在于：所述單扇門(2)與箱體(1)鉸接，所述工作室(7)通過密封條(11)密封設置，所述密封條(11)由硅橡膠材料制成。
3.根據權利要求1所述的一種12寸晶元去氣泡抽真空烤箱，其特征在于：所述電阻真空計(6)采用數字式，所述保溫層(9)由超細玻璃棉材料制成，所述工作室(7)內壁厚度設置為3mm，所述工作室(7)采用SUS3304拉絲不銹鋼板制成。
4.根據權利要求1所述的一種12寸晶元去氣泡抽真空烤箱，其特征在于：所述支撐肋(10)的數量設置為多個，所述支撐肋(10) 頂端與箱體(1)內壁固定連接以及底端貫穿保溫層(9)與工作室(7)外壁固定連接，所述抽氣管(12)外接充氮設備。
5.根據權利要求1所述的一種12寸晶元去氣泡抽真空烤箱，其特征在于：所述移動腳輪和水平支撐架(18)的數量均設置為多個，所述管道(14)貫穿工作室(7)端部，所述管道(14)設置于抽氣管(12)底部，所述真空泵(15)設置于工作室(7)一側。
6.根據權利要求1所述的一種12寸晶元去氣泡抽真空烤箱，其特征在于：所述電阻真空計(6)型號設置為DZA1，所述壓力傳感器(13)型號設置為HT19。
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H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
