[實用新型]一種硅片研磨廢水回用裝置

有效

• 申請號: 201721575550.1
• 申請日: 2017-11-22
• 公開（公告）號: CN207659149U
• 公開（公告）日: 2018-07-27
• 發明（設計）人: 梁新宇;李冰
• 申請（專利權）人: 上海勤世環保科技有限公司
• 主分類號: C02F1/44
• 分類號: C02F1/44;B01D61/18;B01D65/02
• 代理公司: 北京挺立專利事務所(普通合伙) 11265
• 代理人: 葉盛

1.一種硅片研磨廢水回用裝置，包括循環槽(2)，其特征在于：所述循環槽(2)的上端一側設置有廢水進口(1)，所述循環槽(2)的一側設置有第一進水管(3)，所述第一進水管(3)的另一端設置有微濾膜(7)，所述第一進水管(3)的下方設置有排污口(5)，所述微濾膜(7)之間設置有第二進水管(4)，所述第二進水管(4)與微濾膜(7)之間設置有廢水調節站(6)，所述微濾膜(7)的上端設置有第二回水管(13)，所述微濾膜(7)遠離第一進水管(3)的一側設置有第一回水管(12)，所述微濾膜(7)的下端設置有出水管(11)，所述出水管(11)的一端設置有連接管(10)，所述連接管(10)的下端設置有回水槽(9)，所述回水槽(9)遠離連接管(10)的一側設置有回水出口(8)，抽水泵(14)共設置有七個，且七個抽水泵(14)分別安裝在第一進水管(3)與微濾膜(7)之間、第二進水管(4)與微濾膜(7)之間以及回水槽(9)與回水出口(8)之間，所述微濾膜(7)的內部均勻設置有過濾通孔(15)，所述微濾膜(7)的下端設置有連接口(16)，所述抽水泵(14)與外部電源電性連接。

2.根據權利要求1所述的一種硅片研磨廢水回用裝置，其特征在于：所述第一進水管(3)、第二進水管(4)、連接管(10)、出水管(11)、第一回水管(12)和第二回水管(13)的連接處均設置有密封圈。

3.根據權利要求1所述的一種硅片研磨廢水回用裝置，其特征在于：所述出水管(11)與微濾膜(7)之間通過螺紋緊固連接。

4.根據權利要求1所述的一種硅片研磨廢水回用裝置，其特征在于：所述循環槽(2)內的含固量達到3％后定量排出。

5.根據權利要求1所述的一種硅片研磨廢水回用裝置，其特征在于：所述排污口(5)的管道設置有控制閥門。

6.根據權利要求1所述的一種硅片研磨廢水回用裝置，其特征在于：所述連接管(10)的管徑是出水管(11)的管徑的四倍。