[實用新型]寬幅等離子表面處理裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201721569775.6
• 申請日: 2017-11-21
• 公開（公告）號: CN207460573U
• 公開（公告）日: 2018-06-05
• 發(fā)明（設計）人: 何婷
• 申請（專利權）人: 深圳市誠峰智造有限公司
• 主分類號: H05H1/26
• 分類號: H05H1/26
• 代理公司: 深圳市博銳專利事務所 44275
• 代理人: 張明

本實用新型公開了寬幅等離子表面處理裝置，包括封閉的盒體，盒體內設有封板和位于封板的下方的絕緣的固定板，封板和固定板將盒體的內腔隔斷為進氣區(qū)、勻氣區(qū)及出氣區(qū)，出氣區(qū)位于固定板與盒體的底板之間，封板上設有至少一個連通進氣區(qū)與勻氣區(qū)的第一通孔，固定板上設有至少一個連通勻氣區(qū)與出氣區(qū)的第二通孔；盒體上設有至少一個與進氣區(qū)相連通的進氣口；盒體的底板上設有多個第三通孔，每個第三通孔上均固定有一個噴嘴，固定板上固定有多個電極組件，電極組件與噴嘴一一對應設置且電極組件的一部分位于噴嘴內，盒體上固定有高壓線，高壓線通過固定板上的電路與電極組件導通。具有多個噴嘴，大大提高了等離子表面處理裝置處理待加工物體的效率。

技術領域

本實用新型涉及等離子技術領域，尤其涉及寬幅等離子表面處理裝置。

背景技術

等離子體，又稱為等離子態(tài)。等離子態(tài)下的物質具有類似于氣態(tài)的性質，比如良好的流動性和擴散性。但是，由于等離子體的基本組成粒子是離子和電子，因此它也具有許多區(qū)別于氣態(tài)的性質，比如良好的導電性、導熱性。特別的，根據(jù)科學計算，等離子體的比熱容與溫度成正比，高溫下等離子體的比熱容往往是氣體的數(shù)百倍。所以等離子體的應用非常的廣泛，從我們的日常生活到工業(yè)、農業(yè)、環(huán)保、軍事、宇航、能源、天體等方面，它都有非常重要的應用價值。

現(xiàn)有的等離子表面處理裝置只有一個噴嘴，生產效率十分低下。所以有必要提供一種具有多個噴嘴生產效率高的寬幅等離子表面處理裝置。

實用新型內容

本實用新型所要解決的技術問題是：提供一種生產效率高的寬幅等離子表面處理裝置。

為了解決上述技術問題，本實用新型采用的技術方案為：寬幅等離子表面處理裝置，包括封閉的盒體，盒體內設有封板和位于封板的下方的絕緣的固定板，所述封板和固定板將所述盒體的內腔隔斷為進氣區(qū)、勻氣區(qū)及出氣區(qū)，所述出氣區(qū)位于固定板與盒體的底板之間，所述封板上設有至少一個連通進氣區(qū)與勻氣區(qū)的第一通孔，所述固定板上設有至少一個連通勻氣區(qū)與出氣區(qū)的第二通孔；所述盒體上設有至少一個與所述進氣區(qū)相連通的進氣口；所述盒體的底板上設有多個第三通孔，每個所述第三通孔上均固定有一個噴嘴，所述固定板上固定有多個電極組件，所述電極組件與所述噴嘴一一對應設置且電極組件的一部分位于所述噴嘴內，盒體上固定有高壓線，所述高壓線通過固定板上的電路與所述電極組件導通。

進一步的，所述電極組件包括可拆卸連接的電極固定軸和電極，所述電極固定軸與所述固定板可拆卸連接，所述電極的一部分位于所述噴嘴內。

進一步的，所述電極固定軸與所述固定板螺紋連接并通過所述電路與高壓線導通。

進一步的，所述電極固定軸與所述電極螺紋連接并導通。

進一步的，所述第二通孔的數(shù)量為多個，多個所述電極組件設于固定板的中央?yún)^(qū)域且排列成至少兩排。

進一步的，相鄰的兩排所述電極組件錯位設置。

進一步的，多個所述第二通孔呈兩排均布在固定板上，且所述電極組件位于兩排所述第二通孔之間。

進一步的，所述盒體的底板上設有至少一條冷卻通道。

進一步的，所述冷卻通道內通入冷氣或冷卻液。

進一步的，所述盒體包括外殼體和兩端開口的中空結構的內框體，內框體內部設有第一環(huán)槽和第二環(huán)槽，所述封板通過第一環(huán)槽固定在內框體內，所述固定板通過第二環(huán)槽固定在內框體內，外殼體包括頂板、底板及兩端開口的中空結構的外框體，所述頂板和底板分別與外框體連接并分別封堵所述外框體的兩個開口，所述內框體位于外框體內并緊貼所述外框體，所述頂板上設有用于固定內框體頂端的第三環(huán)槽，所述底板上設有用于固定內框體底端的第四環(huán)槽。