[實(shí)用新型]懸臂梁式壓電薄膜微弱信號(hào)傳感器

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201721563410.2
• 申請(qǐng)日: 2017-11-21
• 公開（公告）號(hào): CN207456474U
• 公開（公告）日: 2018-06-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 單華鋒;曹輝;陳學(xué)剛;於群;王家冬;曹凱敏;郁源;王哲琦
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 麒盛科技股份有限公司;浙江清華長三角研究院
• 主分類號(hào): G01D5/12
• 分類號(hào): G01D5/12;G01N27/00
• 代理公司: 上海漢盛律師事務(wù)所 31316
• 代理人: 郭海鋒

1.一種懸臂梁式壓電薄膜微弱信號(hào)傳感器，包括外殼、橫梁支架、壓電薄膜和信號(hào)處理電路，其特征在于，所述外殼是由上蓋和下蓋組成的密封空間，所述橫梁支架設(shè)于上蓋和下蓋之間，所述橫梁支架一端通過一個(gè)固定支點(diǎn)與所述下蓋固定連接，另一端為懸空狀態(tài)，所述上蓋上設(shè)有觸點(diǎn)，觸點(diǎn)與橫梁支架的懸空端相接觸，用于壓迫橫梁支架的懸空端，所述壓電薄膜緊貼橫梁支架。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種懸臂梁式壓電薄膜微弱信號(hào)傳感器，其特征在于，所述上蓋和下蓋之間構(gòu)成一體式結(jié)構(gòu)，使外殼內(nèi)部形成密封的箱式空間。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種懸臂梁式壓電薄膜微弱信號(hào)傳感器，其特征在于，所述上蓋和下蓋之間通過硅膠墊粘合，使外殼中間形成內(nèi)部空間。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種懸臂梁式壓電薄膜微弱信號(hào)傳感器，其特征在于，所述外殼內(nèi)部表面設(shè)有電磁屏蔽層。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種懸臂梁式壓電薄膜微弱信號(hào)傳感器，其特征在于，所述外殼由電磁屏蔽材料制成。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種懸臂梁式壓電薄膜微弱信號(hào)傳感器，其特征在于，所述橫梁支架由硬質(zhì)材料制成。

7.根據(jù)權(quán)利要求4或5所述的一種懸臂梁式壓電薄膜微弱信號(hào)傳感器，其特征在于，所述信號(hào)處理電路集成于PCB板上，該P(yáng)CB板固設(shè)于下蓋上。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種懸臂梁式壓電薄膜微弱信號(hào)傳感器，其特征在于，所述上蓋上觸點(diǎn)至少設(shè)有一個(gè)。

9.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種懸臂梁式壓電薄膜微弱信號(hào)傳感器，其特征在于，所述上蓋和下蓋之間粘合處設(shè)有硅膠，用于封閉上蓋和下蓋之間的縫隙同時(shí)配合上蓋和下蓋之間的相對(duì)運(yùn)動(dòng)。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種懸臂梁式壓電薄膜微弱信號(hào)傳感器，其特征在于，所述觸點(diǎn)為柱體結(jié)構(gòu)或椎體結(jié)構(gòu)。