[實用新型]一種用于高效多晶硅鑄錠爐側部隔熱保溫結構

有效

• 申請號: 201721555782.0
• 申請日: 2017-11-20
• 公開（公告）號: CN207483905U
• 公開（公告）日: 2018-06-12
• 發明（設計）人: 馬翔宇;路景剛;周碩
• 申請（專利權）人: 江蘇高照新能源發展有限公司
• 主分類號: C30B28/06
• 分類號: C30B28/06;C30B29/06
• 代理公司: 南京利豐知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 32256
• 代理人: 任立

本實用新型公開了一種用于高效多晶硅鑄錠爐側部隔熱保溫結構，涉及多晶硅鑄錠領域，包括石墨護板、石墨底板和定向凝固塊，石墨底板設于石墨護板下方，定向凝固塊設于石墨底板下方，還包括導熱系數低于0.08W/(m·K)的隔熱保溫軟氈，隔熱保溫軟氈設于石墨護板、石墨底板和定向凝固塊側面，且隔熱保溫軟氈從定向凝固塊下方延伸至石墨護板上。該種軟氈使定向凝固塊的溫度更均勻，使得固液界面更平滑。

技術領域

本實用新型涉及多晶硅鑄錠領域，特別是涉及一種用于高效多晶硅鑄錠爐側部隔熱保溫結構。

背景技術

現有多晶半熔技術是一種籽晶誘導生產方法，通過在坩堝底部預先鋪設一層20mm厚的籽晶層，籽晶直徑5-10mm，化料結束時中心保留約15mm厚的籽晶，然后在籽晶上開始長晶，這種方法可以得到大量細小均勻的晶粒，生成大量晶界，以達到用晶界控制位錯的目的。但是現有多晶爐五面或者六面加熱，邊部加熱器靠近石墨坩堝護板，而石墨的導熱系數較大，熱量通過石墨護板傳導給坩堝，化料時邊部溫度過高，邊部較中心位置化得多，這樣雖然中心留有的籽晶高度達到要求，但是邊部籽晶化完，自發形核生成的晶粒較大，大晶粒的晶界較少，不能有效控制位錯。

不足之處是化料時不能對邊部有效隔熱，導致邊部籽晶容易化完，后續長晶不能很好地形成均勻細小的晶粒，不能控制位錯，對硅片的性能產生不利的影響。長晶時不能有效保溫，使邊部容易過冷，液面高于其他位置，這就會導致邊角晶磚的柱狀晶向晶錠中心傾斜。

實用新型內容

本實用新型針對上述技術問題，克服現有技術的缺點，提供一種用于高效多晶硅鑄錠爐側部隔熱保溫結構，使定向凝固塊的溫度更均勻，使得固液界面更平滑。

為了解決以上技術問題，本實用新型提供一種用于高效多晶硅鑄錠爐側部隔熱保溫結構，包括石墨護板、石墨底板和定向凝固塊，石墨底板設于石墨護板下方，定向凝固塊設于石墨底板下方，還包括導熱系數低于0.08W/(m·K)的隔熱保溫軟氈，隔熱保溫軟氈設于石墨護板、石墨底板和定向凝固塊側面，且隔熱保溫軟氈從定向凝固塊下方延伸至石墨護板上。

技術效果：本實用新型采用導熱系數更低的軟氈，適用于G6、G7和G8鑄錠爐，使用時安裝在坩堝護板外側，并延伸到石墨底板以下，使得定向凝固塊更均勻，使得固液界面更平滑。

本實用新型進一步限定的技術方案是：

進一步的，隔熱保溫軟氈的頂部與石墨底板的底部之間的距離為125-135mm。

前所述的一種用于高效多晶硅鑄錠爐側部隔熱保溫結構，隔熱保溫軟氈的底部與石墨底板的底部之間的距離為145-155mm。

前所述的一種用于高效多晶硅鑄錠爐側部隔熱保溫結構，隔熱保溫軟氈的高度為280mm。

前所述的一種用于高效多晶硅鑄錠爐側部隔熱保溫結構，隔熱保溫軟氈的頂部與石墨底板的底部之間的距離為130mm，隔熱保溫軟氈的底部與石墨底板的底部之間的距離為150mm。

本實用新型的有益效果是：

（1）本實用新型在化料時能防止熱量直接通過石墨護板傳到給坩堝，起到隔熱的作用，化料過程四周溫度不會過高，有效保留籽晶，這樣可以改善邊部的晶粒；

（2）本實用新型長晶時熱量的大量散失起到保溫作用，固液界面較為平滑，邊角晶磚的柱狀晶傾斜角度減小。

附圖說明

圖1為本實施例的隔熱保溫軟氈結構示意圖；

其中：1、石墨護板；2、石墨底板；3、定向凝固塊；4、隔熱保溫軟氈。

具體實施方式

本實施例提供的一種用于高效多晶硅鑄錠爐側部隔熱保溫結構，結構如圖所示。