[實用新型]一種吊裝式諧振腔裝置有效
| 申請號: | 201721552921.4 | 申請日: | 2017-11-20 |
| 公開(公告)號: | CN207368195U | 公開(公告)日: | 2018-05-15 |
| 發明(設計)人: | 逄立飛;鄧建華;董宇亮;王凱 | 申請(專利權)人: | 四川中測微格科技有限公司 |
| 主分類號: | H01P7/10 | 分類號: | H01P7/10 |
| 代理公司: | 成都行之專利代理事務所(普通合伙) 51220 | 代理人: | 田甜 |
| 地址: | 610000 四川*** | 國省代碼: | 四川;51 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 吊裝 諧振腔 裝置 | ||
1.一種吊裝式諧振腔裝置,其特征在于,包括僅上端面成開口狀的諧振腔(4)、位于諧振腔(4)上方的上蓋板(3)、用于控制諧振腔(4)上下移動的驅動結構,所述上蓋板(3)通過吊裝結構吊裝在真空室(1)的內頂部,所述上蓋板(3)的下表面上設置有用于對諧振腔(4)移動限位的限位裝置(7)。
2.根據權利要求1所述的一種吊裝式諧振腔裝置,其特征在于,所述吊裝結構包括設置在上蓋板(3)兩端的吊裝支架(2),所述吊裝支架兩端分別通過螺栓與真空室(1)、上蓋板(3)連接。
3.根據權利要求1所述的一種吊裝式諧振腔裝置,其特征在于,所述限位裝置(7)的水平截面成圓形,其與上蓋板(3)的連接處的直徑與諧振腔(4)直徑相等,且自上蓋板(3)的連接端至另一端其直徑逐漸增大。
4.根據權利要求1所述的一種吊裝式諧振腔裝置,其特征在于,所述諧振腔(4)的下部設置有用于放置熱電偶的熱電偶孔(5)。
5.根據權利要求4所述的一種吊裝式諧振腔裝置,其特征在于,所述熱電偶孔與諧振腔(4)的中心軸垂直。
6.根據權利要求1所述的一種吊裝式諧振腔裝置,其特征在于,所述驅動結構包括液壓桿(6)和用于驅動液壓桿(6)上下移動的液壓站(8)。
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