[實用新型]多晶鑄錠DS塊有效
| 申請號: | 201721547510.6 | 申請日: | 2017-11-17 |
| 公開(公告)號: | CN207498520U | 公開(公告)日: | 2018-06-15 |
| 發明(設計)人: | 梅坤;肖貴云;李林東;黃晶晶;李亮;閆燈周;金浩 | 申請(專利權)人: | 晶科能源有限公司;浙江晶科能源有限公司 |
| 主分類號: | C30B29/06 | 分類號: | C30B29/06;C30B28/06 |
| 代理公司: | 北京清亦華知識產權代理事務所(普通合伙) 11201 | 代理人: | 何世磊 |
| 地址: | 334100 江西*** | 國省代碼: | 江西;36 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 承載板 散熱凹槽 熱導率 多晶鑄錠 散熱通孔 保溫板 固定板 坩堝 本實用新型 保溫槽 縱向溫度梯度 散熱效果 水平生長 熱擴散 熱平衡 凹陷 散熱 邊部 側邊 底面 固液 硅錠 開孔 垂直 貫穿 | ||
本實用新型提供一種多晶鑄錠DS塊,包括固定板和承載板,所述承載板上設有保溫槽,所述保溫槽內設有保溫板,所述保溫板的熱導率低于所述承載板的熱導率,所述承載板的側邊設有多個散熱凹槽,每個所述散熱凹槽均垂直朝向所述固定板凹陷并貫穿所述固定板的底面,以形成多個散熱通孔,所述散熱凹槽和所述散熱通孔用于增大所述坩堝的縱向溫度梯度,本實用新型通過所述保溫板的熱導率低于所述承載板的熱導率的設計,有效的抑制了坩堝內中部溫度的散熱,通過所述散熱凹槽和所述散熱通孔的設計,采用在所述多晶鑄錠DS塊開孔的方式提供熱擴散通道,以提高對坩堝邊部的散熱效果,保持了硅錠整體熱平衡,有利于固液界面的水平生長。
技術領域
本實用新型涉及多晶鑄錠技術領域,特別涉及一種多晶鑄錠DS塊。
背景技術
由于當多晶硅錠的晶粒豎直性和連續性較好時,則證明其品質較好。而在長晶階段,由于受熱場溫度不均衡影響,使得邊部晶粒會出現傾斜生長,導致其品質大打折扣。因此對熱場改造的基本思想是,抑制多晶鑄錠DS塊上坩堝內中部的散熱,并擴大其邊部的散熱,這樣才能維持坩堝內固液界面水平方向過冷度的一致性,改善晶粒生長豎直性,提高品質良率。
現有的對熱場改造的方式是,通過在多晶鑄錠DS塊四周鋪設隔熱條,以提高坩堝內的縱向溫度梯度,防止坩堝內邊部晶粒出現傾斜生長,以提高品質良率。
現有的對熱場改造的方式只能防止坩堝內邊部晶粒出現傾斜生長,對硅錠整體晶體生長的熱均勻性的調節作用不大,并不能抑制多晶鑄錠DS塊上坩堝內中部的散熱,且降低了坩堝邊部的散熱效果。
實用新型內容
基于此,本實用新型的目的在于提供一種多晶鑄錠DS塊,用于解決不能有效抑制坩堝內中部的散熱和不能有效擴大其邊部散熱的問題。
一種多晶鑄錠DS塊,包括固定板和設于所述固定板上的承載板,所述承載板背向所述固定板的一側設有保溫槽,所述保溫槽內設有保溫板,所述保溫板的熱導率低于所述承載板的熱導率,所述保溫板用于減緩坩堝中部的散熱,所述承載板的側邊設有多個散熱凹槽,每個所述散熱凹槽均垂直朝向所述固定板凹陷并貫穿所述固定板的底面,以形成多個散熱通孔,所述散熱凹槽和所述散熱通孔用于增大所述坩堝的縱向溫度梯度。
上述多晶鑄錠DS塊,通過所述保溫槽的設計,有效的對所述保溫板起到了承載固定的作用,提高了所述保溫板與所述承載板之間結構的穩定性,通過所述保溫板的熱導率低于所述承載板的熱導率的設計,有效的抑制了坩堝內中部溫度的散熱,通過所述散熱凹槽和所述散熱通孔的設計,采用在所述多晶鑄錠DS塊開孔的方式提供熱擴散通道,以提高對坩堝邊部的散熱效果,保持了硅錠整體熱平衡,有利于固液界面的水平生長。
進一步地,所述保溫槽的深度大于所述保溫板的厚度,以在所述保溫板與所述坩堝底面之間形成一保溫通道。
進一步地,所述保溫槽的側邊設有凸起槽,所述凸起槽采用半圓柱形結構,所述凸起槽用于方便所述保溫板的拆卸。
進一步地,所述保溫板朝向所述固定板的一側的邊緣設有抓取槽,所述抓取槽朝向所述保溫板內部凹陷,所述抓取槽用于所述保溫板的抓取。
進一步地,所述承載板上對立兩側邊上的所述散熱凹槽的形狀和數量均相同。
進一步地,所述保溫槽的中部垂直設有一限位柱,所述保溫板上設有與所述限位柱相匹配的限位孔。
進一步地,所述固定板的頂角上設有定位柱,所述定位柱用于方便隔熱條的安裝。
進一步地,所述固定板和所述承載板采用石墨制成,所述保溫板采用碳纖維護氈制成。
進一步地,所述保溫槽的深度小于所述承載板的厚度。
進一步地,所述保溫槽的底面采用曲面結構,且朝向所述承載板的內部凹陷。
附圖說明
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