[實用新型]晶體鑄錠加熱器及鑄錠設備有效
| 申請號: | 201721539287.0 | 申請日: | 2017-11-16 |
| 公開(公告)號: | CN207646330U | 公開(公告)日: | 2018-07-24 |
| 發明(設計)人: | 武鵬;王雙麗;徐巖 | 申請(專利權)人: | 江蘇協鑫硅材料科技發展有限公司 |
| 主分類號: | C30B11/00 | 分類號: | C30B11/00;C30B29/06 |
| 代理公司: | 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224 | 代理人: | 唐清凱 |
| 地址: | 221004 江蘇*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 加熱器 側部加熱器 頂部加熱器 電阻分布 底部加熱器 逐漸降低 鑄錠設備 固液界面 鑄錠 本實用新型 晶體硅錠 不均勻 變平 電阻 制備 | ||
1.一種晶體鑄錠加熱器,其特征在于,所述加熱器包括頂部加熱器和側部加熱器,其中所述頂部加熱器和側部加熱器的電阻分布不均勻,所述頂部加熱器的電阻分布為自中間向四周逐漸降低,所述側部加熱器的電阻分布為自上而下逐漸降低。
2.根據權利要求1所述的晶體鑄錠加熱器,其特征在于,所述頂部加熱器的電阻率分布為自中間向四周逐漸降低。
3.根據權利要求1所述的晶體鑄錠加熱器,其特征在于,所述側部加熱器的電阻率分布為自上而下逐漸降低。
4.根據權利要求1所述的晶體鑄錠加熱器,其特征在于,所述頂部加熱器由兩個頂部加熱板拼接而成,其中一端由拼接板連接,另一端由一個石墨電極連接。
5.一種晶體鑄錠加熱器,其特征在于,所述加熱器包括頂部加熱器、側部加熱器和底部加熱器,其中所述頂部加熱器、側部加熱器和底部加熱器的電阻分布不均勻,所述頂部加熱器的電阻分布為自中間向四周逐漸降低,所述側部加熱器的電阻分布為自上而下逐漸降低,所述底部加熱器的電阻分布為自中間向四周逐漸降低。
6.根據權利要求5所述的晶體鑄錠加熱器,其特征在于,所述頂部加熱器的電阻率分布為自中間向四周逐漸降低。
7.根據權利要求5所述的晶體鑄錠加熱器,其特征在于,所述側部加熱器的電阻率分布為自上而下逐漸降低。
8.根據權利要求5所述的晶體鑄錠加熱器,其特征在于,所述底部加熱器的電阻率分布為自中間向四周逐漸降低。
9.根據權利要求5所述的晶體鑄錠加熱器,其特征在于,所述底部加熱器由一個底部加熱板構成。
10.一種鑄錠設備,包括爐體,該爐體內設置有隔熱籠體,該隔熱籠體內設置有熱交換塊,該熱交換塊上方設置有坩堝,其特征在于,所述爐體內還設置有如權利要求1-9任一項所述的加熱器。
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