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[實用新型]一種單晶爐停爐慢散熱裝置有效

專利信息
申請號: 201721529547.6 申請日: 2017-11-16
公開(公告)號: CN207418910U 公開(公告)日: 2018-05-29
發明(設計)人: 史二慶 申請(專利權)人: 四川高銘科技有限公司
主分類號: C30B15/20 分類號: C30B15/20;C30B15/10
代理公司: 暫無信息 代理人: 暫無信息
地址: 62500*** 國省代碼: 四川;51
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 坩堝 位移調控單元 熱調控 停爐 單晶爐 散熱控制裝置 本實用新型 電路控制器 位移傳感器 自動化調控 垂直伸縮 單元協調 副加熱器 加熱功率 晶體結構 散熱裝置 石英坩堝 使用壽命 旋轉提升 主加熱器 單晶棒 副電極 主電極 基臺 熔液 余液 驟冷 擠壓 膨脹 下調 生長 調控 配合
【權利要求書】:

1.一種單晶爐停爐慢散熱控制裝置,其特征在于,包括坩堝位移調控單元(10)、熱調控單元(20)和自動化調控裝置(30);

所述坩堝位移調控單元(10)包括基臺(1)、坩堝旋轉提升機構(2)、垂直伸縮臺(3)和位移傳感器(4),爐體(9)固定設置于所述基臺(1)表面,所述爐體(9)內坩堝托桿(91)貫穿所述基臺(1)與固定設置于所述垂直伸縮臺(3)表面的所述坩堝旋轉提升機構(2)相連,所述位移傳感器(4)設置于所述垂直伸縮臺(3)底部;

所述熱調控單元(20)包括主加熱器(51)、副加熱器(52)、主電極(61)、副電極(62)和電路控制器(7),所述主加熱器(51)和所述副加熱器(52)分別固設有與所述電路控制器(7)相連的所述主電極(61)和所述副電極(62),所述主加熱器(51)和所述副加熱器(52)呈圓筒狀排列圍設于所述坩堝托桿(91)外側的所述爐體(9)內;

所述自動化調控裝置(30)分別與所述位移傳感器(4)和所述電路控制器(7)相連。

2.根據權利要求1所述的一種單晶爐停爐慢散熱控制裝置,其特征在于,所述坩堝托桿(91)中軸線、所述坩堝旋轉提升機構(2)驅動位點和所述垂直伸縮臺(3)中心位于同一軸線上。

3.根據權利要求1所述的一種單晶爐停爐慢散熱控制裝置,其特征在于,所述基臺(1)臺面采用水泥隔離臺面。

4.根據權利要求1所述的一種單晶爐停爐慢散熱控制裝置,其特征在于,所述垂直伸縮臺(3)采用固定式液壓升降平臺。

5.根據權利要求1所述的一種單晶爐停爐慢散熱控制裝置,其特征在于,所述位移傳感器(4)采用電感式線性位移傳感器。

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