[實用新型]一種集成式激光電離效應模擬系統

有效

• 申請號: 201721524324.0
• 申請日: 2017-11-15
• 公開（公告）號: CN207557412U
• 公開（公告）日: 2018-06-29
• 發明（設計）人: 李沫;孫鵬;黃鋒;湯戈;王小鳳;代剛;張健
• 申請（專利權）人: 中國工程物理研究院電子工程研究所
• 主分類號: G01R31/26
• 分類號: G01R31/26
• 代理公司: 成都天嘉專利事務所(普通合伙) 51211
• 代理人: 蔣斯琪

1.一種集成式激光電離效應模擬系統，其特征在于：包括用于穩定支撐整個模擬系統的調整底座（I）、光源（II）、用于對單脈沖激光能量進行調整的衰減與光束調整模塊（III）、用于對半導體器件測試樣品（20）進行成像的顯微觀察模塊（IV）、用于采集記錄輻射電離效應的響應電信號和控制光斑位置的測試與存儲模塊（V）；所述光源（II）包含可自由切換266nm、532nm或1064nm三種波段的脈沖激光的脈沖激光器（3），所述衰減與光束調整模塊（III）包括衰減鏡片模組、反射鏡和遮光罩，脈沖激光器（3）、衰減鏡片模組、反射鏡均安裝于遮光罩內，所述脈沖激光器（3）產生的單路脈沖激光在空間位置上依次經過衰減鏡片模組、反射鏡；所述顯微觀察模塊（IV）包括CCD攝像頭（15）、指引光源（16）、激光能量計探頭二（18）、分光棱鏡二（17）、調焦機構、物鏡轉盤（19）、物鏡、支架；所述CCD攝像頭（15）、指引光源（16）、激光能量計探頭二（18）、分光棱鏡二（17）安裝于支架頂部，調焦機構安裝于分光棱鏡二（17）下面，物鏡轉盤（19）安裝于調焦機構的下面，物鏡安裝于物鏡轉盤（19）的下面；在空間位置上，從衰減與光束調整模塊出射的激光，經過反射鏡后到達分光棱鏡二（17）。

2.根據權利要求1所述的一種集成式激光電離效應模擬系統，其特征在于：所述調整底座（I）包含調平螺絲（1）和縱向安裝于調整底座上的導軌（2）。

3.根據權利要求1所述的一種集成式激光電離效應模擬系統，其特征在于：所述光源（II）還包含光路提升器（4）。

4.根據權利要求1所述的一種集成式激光電離效應模擬系統，其特征在于：所述衰減與光束調整模塊（III）的具體結構包括：沿激光水平射入方向上的第一級1/2λ波片（5），位于第一級1/2λ波片（5）透射光方向上的第一級偏振分光棱鏡（6），位于第一級偏振分光棱鏡（6）的透射光方向上的第二級1/2λ波片（7），位于第二級1/2λ波片（7）的透射光方向上的第二級偏振分光棱鏡（8），位于第二級偏振分光棱鏡（8）反射光方向上的光束收集器一（9），位于第一級偏振分光棱鏡（6）的反射光方向上的分光棱鏡一（10），位于分光棱鏡一（10）透射光方向上的激光能量計探頭一（11），位于分光棱鏡一（10）反射光方向上的光束收集器二（12）。

5.根據權利要求1所述的一種集成式激光電離效應模擬系統，其特征在于：所述指引光源（16）在空間位置上依次經過分光棱鏡二（17）、調焦機構、物鏡轉盤（19）、物鏡后到達半導體器件測試樣品（20）表面；指引光源（16）在分光棱鏡上與脈沖激光合束后，到達半導體器件測試樣品（20）表面上時，指引光源（16）與脈沖激光的光斑中心重合。

6.根據權利要求5所述的一種集成式激光電離效應模擬系統，其特征在于：所述顯微觀察模塊（IV）的具體結構中，沿激光方向設置有反射鏡一（13），沿反射鏡一（13）反射光方向上設置有反射鏡二（14），經過反射鏡二（14）的反射光方向上設置有分光棱鏡二（17），分光棱鏡二（17）上端設置有顯微鏡筒與指引光源（16）、CCD攝像頭（15），分光棱鏡二（17）的透射光方向上設置有激光能量計探頭二（18），分光棱鏡二（17）的反射光方向上設置有物鏡及物鏡轉盤（19）；激光經過反射鏡一（13）和反射鏡二（14）兩次反射后，激光水平入射到分光棱鏡二（17），經過分光棱鏡二（17）后透射光到達激光能量計探頭二（18），反射光進入到物鏡及物鏡轉盤（19），物鏡及物鏡轉盤（19）中的物鏡可聚焦或者擴束。

7.根據權利要求1所述的一種集成式激光電離效應模擬系統，其特征在于：所述測試與控制系統（V）包括精密位移平臺和示波器（22），半導體器件測試樣品（20）放置于精密位移平臺上。

8.根據權利要求7所述的一種集成式激光電離效應模擬系統，其特征在于：所述精密位移平臺為可調節角度的六自由度位移平臺（21）。