[實用新型]一種優化集成式單光路激光電離效應模擬系統

有效

• 申請號: 201721523329.1
• 申請日: 2017-11-15
• 公開（公告）號: CN208208156U
• 公開（公告）日: 2018-12-07
• 發明（設計）人: 孫鵬;李沫;湯戈;陳飛良;代剛;張健
• 申請（專利權）人: 中國工程物理研究院電子工程研究所
• 主分類號: G09B23/22
• 分類號: G09B23/22;G09B23/18
• 代理公司: 成都天嘉專利事務所(普通合伙) 51211
• 代理人: 蔣斯琪

1.一種優化集成式單光路激光電離效應模擬系統，其特征在于：包括用于穩定支撐整個模擬系統的調整底座（Ⅰ）、用于產生特定波長脈沖激光的光源（Ⅱ）、用于對單脈沖激光能量進行衰減衰減與光束調整模塊（Ⅲ）、用于對待測樣品（19）進行成像和進行能量測量的顯微觀察模塊（Ⅳ）、用于采集并記錄待測樣品（19）輻射電離效應的響應電信號和控制光斑位置的測試與控制模塊（Ⅴ）；所述衰減與光束調整模塊（Ⅲ）整體設置于光源（Ⅱ）上方，沿激光進入方向依次包括有第一級1/2λ波片（5）、位于第一級1/2λ波片（5）透射光方向上的第一級偏振分光棱鏡（6）、位于第一級偏振分光棱鏡（6）的透射光方向上的第二級1/2λ波片（7）、位于第二級1/2λ波片（7）透射光方向上的第二級偏振分光棱鏡（8）、位于第二級偏振分光棱鏡（8）反射光方向上的光束收集器一（9）、位于第一級偏振分光棱鏡（6）的反射光方向上的分光棱鏡一（10）、位于分光棱鏡一（10）透射光方向上的激光能量計探頭一（11）、位于分光棱鏡一（10）反射光方向上的光束收集器二（12）、位于第二級偏振分光棱鏡（8）透射光方向上的光束勻化器（13），激光經過光束勻化器（13）后射出到后續光路。

2.根據權利要求1所述的一種優化集成式單光路激光電離效應模擬系統，其特征在于，所述調整底座（Ⅰ）包含用于調節調整底座（Ⅰ）的水平位置的調平螺絲（1）和縱向安裝于調整底座（Ⅰ）上的導軌（2）。

3.根據權利要求1所述的一種優化集成式單光路激光電離效應模擬系統，其特征在于，所述光源（Ⅱ）、衰減與光束調整模塊（Ⅲ）均安裝于遮光罩內。

4.根據權利要求1或3所述的一種優化集成式單光路激光電離效應模擬系統，其特征在于，所述光源（Ⅱ）包含用于產生波長為266nm或者532nm或者1064nm的激光的脈沖激光器（3）和光路提升器（4）。

5.根據權利要求1所述的一種優化集成式單光路激光電離效應模擬系統，其特征在于，所述顯微觀察模塊（Ⅳ）包括沿光束勻化器（13）出來的激光方向設置有分光棱鏡二（14），分光棱鏡二（14）上端設置有顯微鏡筒與照明光源（15）、攝像頭（16），分光棱鏡二（14）的透射光方向上設置有激光能量計探頭二（17），分光棱鏡二（14）的反射光方向設置有可變光斑調節裝置（18）；激光經過分光棱鏡二（14）后，透射光到達激光能量計探頭二（17），反射光經過可變光斑調節裝置（18）照射到待測樣品（19）上。

6.根據權利要求5所述的一種優化集成式單光路激光電離效應模擬系統，其特征在于，所述照明光源（15）在空間位置上依次經過分光棱鏡二（14）、調焦機構、物鏡轉盤、物鏡后到達待測樣品（19）表面。

7.根據權利要求1所述的一種優化集成式單光路激光電離效應模擬系統，其特征在于，所述測試與控制模塊（Ⅴ）包括用于放置待測樣品（19）的精密位移平臺，用于測試待測樣品待測樣品（19）信號的示波器（21），與精密位移平臺、示波器信號連接的數據采集與控制卡（22），用于控制系統、數據采集與控制卡（22）連接的計算機（23）。

8.根據權利要求7所述的一種優化集成式單光路激光電離效應模擬系統，其特征在于，所述精密位移平臺采用六自由度位移平臺（20）。