[實用新型]承載于承載板的可撓性基板的剝離裝置的吸附結(jié)構(gòu)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201721521940.0
• 申請日: 2017-11-15
• 公開（公告）號: CN207637769U
• 公開（公告）日: 2018-07-20
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 周坤麟
• 申請（專利權(quán)）人: 敘豐企業(yè)股份有限公司
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683
• 代理公司: 北京國昊天誠知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11315
• 代理人: 許志勇;王寧

1.一種承載于承載板的可撓性基板的剝離裝置的吸附結(jié)構(gòu)，其特征在于，包含：

剝離組件；

可撓性封圈，設(shè)于該剝離組件的底面，該可撓性封圈的截面呈L型；以及第一多孔隙材料層，其設(shè)于該可撓性封圈內(nèi)且頂面連接該剝離組件的底面。

2.如權(quán)利要求1所述的承載于承載板的可撓性基板的剝離裝置的吸附結(jié)構(gòu)，其特征在于，該剝離組件包括透氣下板、透氣上板、至少一第二多孔隙材料層及可撓性密封環(huán)，該第二多孔隙材料層設(shè)于該透氣下板的頂面，該透氣上板層疊于該第二多孔隙材料層的頂面，使該第二多孔隙材料層夾設(shè)于該透氣下板與該透氣上板之間，而該可撓性封圈及該第一多孔隙材料層設(shè)于該透氣下板的底面，該可撓性密封環(huán)密封該透氣下板、該透氣上板與該第二多孔隙材料層的周緣，該可撓性密封環(huán)的截面呈弧型。

3.如權(quán)利要求2所述的承載于承載板的可撓性基板的剝離裝置的吸附結(jié)構(gòu)，其特征在于，該透氣下板具有多個下通氣孔，所述下通氣孔位于該可撓性密封環(huán)內(nèi)，該透氣上板具有多個上通氣孔，所述上通氣孔位于該可撓性密封環(huán)內(nèi)。

4.如權(quán)利要求2所述的承載于承載板的可撓性基板的剝離裝置的吸附結(jié)構(gòu)，其特征在于，該可撓性密封環(huán)包含第一貼附環(huán)部、第二貼附環(huán)部及變形環(huán)部，該變形環(huán)部的截面呈弧型，該第一貼附環(huán)部與該第二貼附環(huán)部相對向，該變形環(huán)部連接于該第一貼附環(huán)部與該第二貼附環(huán)部的端緣，且該第一貼附環(huán)部的底面結(jié)合于該透氣上板的頂面，該第二貼附環(huán)部的頂面結(jié)合于該透氣下板的底面，而該變形環(huán)部位于該透氣下板、該透氣上板與該第二多孔隙材料層的周緣。

5.如權(quán)利要求2所述的承載于承載板的可撓性基板的剝離裝置的吸附結(jié)構(gòu)，其特征在于，該可撓性密封環(huán)為橡膠、硅膠、PU或PE的材質(zhì)。

6.如權(quán)利要求1所述的承載于承載板的可撓性基板的剝離裝置的吸附結(jié)構(gòu)，其特征在于，該可撓性封圈包括第一表面、第二表面及缺口部，該第一表面位于該可撓性封圈的頂面且連接至該剝離組件的底面，該第二表面位于該可撓性封圈的底面，該缺口部位于該可撓性封圈的外側(cè)且鄰近該第二表面。

7.如權(quán)利要求6所述的承載于承載板的可撓性基板的剝離裝置的吸附結(jié)構(gòu)，其特征在于，該第一表面大于該第二表面。