[實用新型]一種旋轉體鍍膜夾具

有效

• 申請號: 201721512824.2
• 申請日: 2017-11-14
• 公開（公告）號: CN207435540U
• 公開（公告）日: 2018-06-01
• 發明（設計）人: 崔靜萍;那帥;林靜;薩仁格日樂;蔡云秀
• 申請（專利權）人: 沈陽博帥材料科技有限公司
• 主分類號: C23C14/50
• 分類號: C23C14/50;C23C16/458
• 代理公司: 沈陽優普達知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 21234
• 代理人: 俞魯江

本實用新型公開一種旋轉體鍍膜夾具，涂鍍密閉空間中設置轉盤，所述轉盤與轉軸固定，轉軸與涂鍍密閉空間外的電機輸出軸連接；所述轉盤上設置多組托盤，所述托盤的外緣均設置齒輪，其中，靠近轉盤最外側的托盤為驅動托盤，所述驅動托盤的齒輪超出轉盤的外側邊緣并與檔桿嚙合，所述檔桿固定且外側設置與齒輪相應的齒牙，所述驅動托盤的齒輪與其它托盤的齒輪依次嚙合，形成轉動裝置。本實用新型的優點是：夾具在同一托盤上可放置多個，驅動托盤與檔桿配合形成各個托盤的自轉，同時轉盤帶動托盤公轉，這樣就解決了零件在腔體中往往只能涂鍍一面，存在“陰陽”面的現象。

技術領域

本實用新型涉及一種旋轉體鍍膜夾具，特別是用于離子鍍、PVD、CVD等靶材蒸鍍或濺射表面涂鍍技術專用夾具。

背景技術

目前，旋轉體類零件在進行離子鍍、蒸鍍、PVD、CVD等靶材類蒸鍍或濺射表面技術進行應用時，零件靜止放置在密閉的腔體中，腔體有一中心柱旋轉，帶動腔體內轉盤或掛鉤進行旋轉。靶材受到能量激發，蒸鍍或濺射在零件表面，形成表面鍍層。

零件在腔體中往往只能涂鍍一面，存在“陰陽”面的現象。解決辦法往往只能二次涂鍍，即使二次涂鍍對旋轉體類零件在其圓周方向上也存在鍍層不均勻的現象。

實用新型內容

本實用新型的目的是提供一種解決旋轉體零件涂鍍不均勻問題的裝置，具體技術方案如下：

一種旋轉體鍍膜夾具，涂鍍密閉空間中設置轉盤，所述轉盤與轉軸固定，轉軸與涂鍍密閉空間外的電機輸出軸連接；所述轉盤上設置多組托盤，所述托盤的外緣均設置齒輪，其中，靠近轉盤最外側的托盤為驅動托盤，所述驅動托盤的齒輪超出轉盤的外側邊緣并與檔桿嚙合，所述檔桿固定且外側設置與齒輪相應的齒牙，所述驅動托盤的齒輪與其它托盤的齒輪依次嚙合，形成轉動裝置。

為便于同時加工多個工件，所述托盤的中心設置固定桿，工件穿套在所述固定桿上。

為合理排列轉盤的平面空間及保證托盤間的嚙合，所述轉盤上設置多個轉動裝置。

為調整公轉一圈時托盤的自轉角度，所述檔桿為多個，沿轉盤的圓周排列；所述檔桿可以設置調整裝置以保證沿轉盤的徑向進行調節，適應托盤不同角度的自轉；

所述調整裝置包括沿轉盤的徑向設置的滑道，滑道上設置滑座，檔桿固定在滑座上，所述滑座與調整桿固定；所述調整桿與設置在涂鍍密閉空間外的把手固定，并沿滑道方向來回運動。

本實用新型的優點是：夾具在同一托盤上可放置多個，驅動托盤與檔桿配合形成各個托盤的自轉，同時轉盤帶動托盤公轉，這樣就解決了零件在腔體中往往只能涂鍍一面，存在“陰陽”面的現象。

附圖說明

圖1為旋轉體涂鍍夾具示意圖；

圖2為調整裝置結構示意圖。

具體實施方式

下面結合附圖具體說明本實用新型，如圖所示，一種旋轉體涂鍍夾具的使用說明，以內六角螺母為例的具體說明：

涂鍍密閉空間中設置轉盤1，所述轉盤1與轉軸2固定，轉軸與涂鍍密閉空間外的電機輸出軸連接；所述轉盤1上設置多組托盤3，所述托盤的外緣均設置齒輪6，其中，靠近轉盤最外側的托盤為驅動托盤，所述驅動托盤的齒輪6超出轉盤1的外側邊緣并與檔桿5嚙合，所述檔桿5固定且外側設置與齒輪相應的齒牙，所述驅動托盤的齒輪與其它托盤的齒輪依次嚙合，形成轉動裝置。

為便于同時加工多個工件，所述托盤的中心設置固定桿7，工件4穿套在所述固定桿7上。

為合理排列轉盤的平面空間及保證托盤間的嚙合，所述轉盤上設置多個轉動裝置。