[實用新型]一種多晶硅鑄錠測溫裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201721508712.X | 申請日： | 2017-11-14 |
| 公開（公告）號： | CN207435583U | 公開（公告）日： | 2018-06-01 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 何曉春 | 申請（專利權(quán)）人： | 浙江啟瑞電子有限公司 |
| 主分類號： | C30B28/06 | 分類號： | C30B28/06;C30B29/06;G01K7/02 |
| 代理公司： | 北京科億知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 湯東鳳 |
| 地址： | 324300 浙江省衢州市*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 測溫儀 測溫裝置 多晶硅鑄錠 石墨 護(hù)板 本實用新型 導(dǎo)線保護(hù) 石英坩堝 隔熱籠 熱電偶 石墨支撐柱 加工設(shè)備 一端連接 多晶硅 測溫 顯屏 坩堝 | ||
1.一種多晶硅鑄錠測溫裝置，其特征在于，包括隔熱籠(1)，所述隔熱籠(1)內(nèi)部設(shè)有石英坩堝(2)，所述石英坩堝(2)內(nèi)部裝有石墨護(hù)板(3)，所述石墨護(hù)板(3)下方裝有石墨支撐柱(4)，所述石墨護(hù)板(3)內(nèi)設(shè)有熱電偶測溫儀(5)，所述熱電偶測溫儀(5)下方設(shè)有測溫儀導(dǎo)線保護(hù)管(6)，所述測溫儀導(dǎo)線保護(hù)管(6)內(nèi)設(shè)有測溫儀導(dǎo)線(7)，所述測溫儀導(dǎo)線(7)的另一端連接在數(shù)顯屏(8)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多晶硅鑄錠測溫裝置，其特征在于，所述石墨支撐柱(4)有兩根，對稱分布在測溫儀導(dǎo)線保護(hù)管(6)的兩側(cè)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多晶硅鑄錠測溫裝置，其特征在于，所述石墨支撐柱(4)穿過石英坩堝(2)的底部，將石墨護(hù)板(3)固定在隔熱籠(1)的底部。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多晶硅鑄錠測溫裝置，其特征在于，所述測溫儀導(dǎo)線保護(hù)管(6)連接在熱電偶測溫儀(5)的底部，并通到隔熱籠(1)底面的外側(cè)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多晶硅鑄錠測溫裝置，其特征在于，所述測溫儀導(dǎo)線(7)的兩端分別連接在熱電偶測溫儀(5)和數(shù)顯屏(8)上。
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