[實用新型]一種多棱角整板電極

有效

• 申請號: 201721505251.0
• 申請日: 2017-11-13
• 公開（公告）號: CN207781532U
• 公開（公告）日: 2018-08-28
• 發明（設計）人: 鄭志偉;廖文晗;陳磊;李志華
• 申請（專利權）人: 珠海倍力高科科技有限公司
• 主分類號: H01J37/32
• 分類號: H01J37/32
• 代理公司: 廣州三環專利商標代理有限公司 44202
• 代理人: 溫旭

本實用新型公開了一種多棱角整板電極，包括整板電極本體，所述整板電極本體的頂面與底面分別設置有凸起的棱角，所述棱角等間距的設置有多組，相鄰的兩個所述棱角的間距為10mm或15mm，所述棱角的最高點距整板電極本體的表層的距離為2mm。本實用新型通過在整板電極本體的側部設置棱角，利用尖端放電的原理，在等離子清洗中，避免了棱角尖端部位附著清洗副產物，從而保證生產過程中清洗速度和均勻性的穩定，延長電極的使用周期。

技術領域

本實用新型涉及等離子電極板技術領域，具體涉及一種多棱角整板電極。

背景技術

等離子機通常又被人們稱呼等離子表面處理機、等離子表面處理器，等離子打磨機和等離子清洗機等。等離子機采用氣體作為清洗介質，有效地避免了因液體清洗介質對被清洗物帶來的二次污染，等離子機廣泛應用于光學、光電子學、電子學、材料科學、生命科學、高分子科學、生物醫學、微觀流體學等領域。整板電極作為等離子機的重要組成部分，往往決定著等離子機的使用壽命及工作效率。

但是，目前市面上的等離子機整板電極表面是平整的，當整板電極是新的，或干凈時，所放電的面積越大，放電越均勻。從而清洗的速度越快，整個腔體的均勻性越好。當電極使用一段時間過后(一般為兩到三個月后)整板電極的大部分區域(表面)被清洗過后的副產物給附著。從而大大減少了電極的放電面積，放電區域出現不均勻，而導致清洗的速度下降，清洗的均勻性也下降，使得電極的使用周期大大降低。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種多棱角整板電極，以解決上述背景技術中提出的問題。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：一種多棱角整板電極，包括整板電極本體，所述整板電極本體的頂面與底面分別設置有凸起的棱角，所述棱角等間距的設置有多組，相鄰的兩個所述棱角的間距為10mm或15mm，所述棱角的最高點距整板電極本體的表層的距離為2mm。

優選地，所述整板電極本體及棱角均采用導電材料。

優選地，所述棱角為等邊三角形形狀。

優選地，所述棱角相對于整板電極本體呈對稱布置。

本實用新型的技術效果和優點：本實用新型通過在整板電極本體的側部設置棱角，利用尖端放電的原理，在等離子清洗中，避免了棱角尖端部位附著清洗副產物，從而保證生產過程中清洗速度和均勻性的穩定，延長電極的使用周期。

附圖說明

圖1為本實用新型的結構示意圖；

圖2為本實用新型的側視圖。

圖中：1、整板電極本體；2、棱角；3、副產物。

具體實施方式

下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。

請參閱圖1-2，本實用新型提供一種多棱角整板電極，包括整板電極本體1，所述整板電極本體1的頂面與底面分別設置有凸起的棱角2，所述棱角2等間距的設置有多組，相鄰的兩個所述棱角2的間距為10mm或15mm，所述棱角2的最高點距整板電極本體1的表層的距離為2mm。

該多棱角電極是對現有的整板電極基礎上進行改善，通過尖端放電原理，在整板電極本體1的表面增加可放電的棱角2，間距為10mm或15mm，等距排列。放電棱角2不會被生產的副產物給附著，副產物會附著在整板電極本體1和棱角2的表壁上，而棱角2的尖端部位不會被附著。隨等離子機清洗時間的增加，多棱角電極因為有放電棱角2。放電面積穩定，從而保證生產過程中清洗速度和均勻性的穩定。