[實用新型]一種高頻高線性擺鏡檢測系統有效
| 申請號： | 201721496074.4 | 申請日： | 2017-11-10 |
| 公開（公告）號： | CN207515998U | 公開（公告）日： | 2018-06-19 |
| 發明（設計）人： | 吳李宗;張德祥;王錦華;陳軒 | 申請（專利權）人： | 揚州萊達光電技術有限公司 |
| 主分類號： | G01M11/00 | 分類號： | G01M11/00 |
| 代理公司： | 北京聯瑞聯豐知識產權代理事務所(普通合伙) 11411 | 代理人： | 黃冠華 |
| 地址： | 225000 江蘇省揚*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 掃描器 測量光路 動態軌跡 檢測系統 高線性 擺鏡 半導體激光光源 二維調節機構 本實用新型 虛擬示波器 測試設備 光學平臺 平行光管 四通道 激光 自準直平行光管 過零檢測電路 操作顯示 二維微調 光纖輸出 激光光源 接收系統 控制系統 整機結構 自準直 工作臺 光管 兩路 緊湊 檢測 | ||
1.一種高頻高線性擺鏡檢測系統，包括光學平臺、測試設備和控制系統，其特征在于：所述測試設備包括設置在光學平臺上方的掃描器動態軌跡測量光路、掃描器過零檢測電路、半導體激光光源、四通道虛擬示波器和操作顯示臺，所述光學平臺上方設置有保護罩，所述掃描器動態軌跡測量光路包括帶二維調節機構激光平行光管和軌跡接收系統，所述掃描器動態軌跡測量光路包括自準直行光管和二維微調工作臺，所述半導體激光光源經光纖輸出作為帶二維調節機構激光平行光管和自準直平行光管的激光光源，所述四通道虛擬示波器用于連接兩路PSD的Vx、Vy信號。
2.根據權利要求1所述的一種高頻高線性擺鏡檢測系統，其特征在于：所述帶二維調節機構激光平行光管包括光纖、平行光管和二維調節機構，所述二維調節機構包括俯仰微調結構和方位微調結構，所述光纖與平行光管相連，所述二維調節機構設置在平行光管的下部。
3.根據權利要求2所述的一種高頻高線性擺鏡檢測系統，其特征在于：所述帶二維調節機構激光平行光管的焦距為200mm，有效孔徑為φ40mm，光纖直徑為0.01mm，數值孔徑為0.33，方位微調的分辨率為0.18″，俯仰微調的分辨率為1.3″。
4.根據權利要求1所述的一種高頻高線性擺鏡檢測系統，其特征在于：所述自準直平行光管中自準物鏡的焦距為500mm，有效光學口徑為Ф50mm，PSD的有效面積為21*21mm，分辨率為1μm，響應時間為1μs。
5.根據權利要求1所述的一種高頻高線性擺鏡檢測系統，其特征在于：所述半導體激光光源為波長為650nm的半導體激光。
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