[實(shí)用新型]一種硅錠長晶用支撐裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201721495628.9
• 申請日: 2017-11-10
• 公開（公告）號(hào): CN207552492U
• 公開（公告）日: 2018-06-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉耀峰
• 申請（專利權(quán)）人: 無錫榮能半導(dǎo)體材料有限公司
• 主分類號(hào): C30B28/00
• 分類號(hào): C30B28/00;C30B29/06
• 代理公司: 北京中恒高博知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11249
• 代理人: 高玉濱

本實(shí)用新型公開了一種硅錠長晶用支撐裝置，包括定向塊，在所述定向塊下方設(shè)置有支撐柱，在所述定向塊上方設(shè)置有墊板，在所述定向塊四周分別設(shè)置有隔熱條，所述隔熱條將所述定向塊四周表面進(jìn)行全部覆蓋。本實(shí)用新型所公開的硅錠長晶用支撐裝置，通過在定向塊四周設(shè)置隔熱條，使坩堝四邊熱量不容易散失，相對(duì)提高了硅錠邊緣的溫度，更好的保證硅錠長晶溫度，保證硅錠晶柱筆直而且均勻往上生長，更有效的使硅錠邊角的長晶穩(wěn)定及定向。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及多晶硅生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種硅錠長晶用支撐裝置。

背景技術(shù)

如圖1所示，其中1為定向塊，2為墊板，3為支撐柱，4為硅錠。定向塊1設(shè)置在墊板2下方，硅錠4放置在墊板2上。在開方過后的子錠檢測過程中，我們發(fā)現(xiàn)硅錠4的子錠中心區(qū)域(C區(qū))和邊緣區(qū)域(A B區(qū))的有很大區(qū)別，硅錠1開方后的側(cè)邊橫截面觀察，C區(qū)的子錠四周晶柱筆直而且均勻往上生長，但是AB區(qū)的子錠，四周晶柱容易交叉，擴(kuò)散并橫截其他晶柱。同時(shí)A區(qū)B區(qū)的晶柱擴(kuò)散方向基本都是往坩堝壁處。A區(qū)B區(qū)的子錠頭部少子的不良空格也會(huì)偏多。同樣位置的的硅片檢測過后，發(fā)現(xiàn)C區(qū)的硅片轉(zhuǎn)換效率還有低效片比率相比較A區(qū)B區(qū)的要好很多。

因此我們判斷子錠的晶柱走向?qū)τ诠桢V的成品還有轉(zhuǎn)換效率都有很大影響，我們解決的方向就是如何控制AB區(qū)的子錠生長方向，使其減少擴(kuò)散，不去過分?jǐn)D壓甚至橫截其他籽晶。

實(shí)用新型內(nèi)容

為解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的問題，本實(shí)用新型提供了一種硅錠長晶用支撐裝置。

本實(shí)用新型的目的通過以下技術(shù)方案來具體實(shí)現(xiàn)：

一種硅錠長晶用支撐裝置，包括定向塊，在所述定向塊下方設(shè)置有支撐柱，在所述定向塊上方設(shè)置有墊板，在所述定向塊四周分別設(shè)置有隔熱條，所述隔熱條將所述定向塊四周表面進(jìn)行全部覆蓋。

進(jìn)一步地，所述隔熱條與所述定向塊通過內(nèi)嵌螺絲進(jìn)行固定連接。

進(jìn)一步地，所述隔熱條與所述定向塊厚度相同，所述隔熱條的上表面與所述定向塊的上表面處于同一平面。

進(jìn)一步地，所述隔熱條上表面與所述定向塊上表面與所述墊板下表面形狀大小均相同。

進(jìn)一步地，所述定向塊尺寸為長×寬×高為960mm×960mm×100mm。

進(jìn)一步地，所述隔熱條尺寸為長×寬×高為1050mm×90mm×100mm。

進(jìn)一步地，所述支撐柱為多根，均勻設(shè)置在所述定向塊下方。

本實(shí)用新型所公開的硅錠長晶用支撐裝置，通過在定向塊四周設(shè)置隔熱條，使坩堝四邊熱量不容易散失，相對(duì)提高了硅錠邊緣的溫度，更好的保證硅錠長晶溫度，保證硅錠晶柱筆直而且均勻往上生長，更有效的使硅錠邊角的長晶穩(wěn)定及定向。

附圖說明

圖1為現(xiàn)有技術(shù)中硅錠長晶過程示意圖；

圖2為本實(shí)用新型所公開的硅錠長晶用支撐裝置結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本實(shí)用新型所公開的硅錠長晶用支撐裝置中定位塊與隔熱條俯視結(jié)構(gòu)示意圖；

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型具體實(shí)施方式進(jìn)行詳細(xì)說明。

如圖2所示，本實(shí)用新型公開了一種硅錠長晶用支撐裝置，包括定向塊1，在定向塊1下方均勻設(shè)置有多根支撐柱3，在定向塊1上方設(shè)置有墊板2，在定向塊1四周分別設(shè)置有隔熱條5，隔熱條5將定向塊1四周表面進(jìn)行全部覆蓋。其中，定向塊為石墨材質(zhì)，隔熱條5為固體碳?xì)謼l。