[實用新型]硅片清洗系統

有效

• 申請號: 201721488762.6
• 申請日: 2017-11-09
• 公開（公告）號: CN207507912U
• 公開（公告）日: 2018-06-19
• 發明（設計）人: 王會敏;張浩強;李立偉;張穩
• 申請（專利權）人: 邢臺晶龍電子材料有限公司
• 主分類號: B08B3/14
• 分類號: B08B3/14;B08B3/00
• 代理公司: 石家莊國為知識產權事務所 13120
• 代理人: 王麗巧

本實用新型適用于硅片清洗技術領域，尤其涉及一種硅片清洗系統。包括：硅片清洗機、硅片脫膠機、蓄水池、水泵和用于污水處理的沉淀池，硅片清洗機的出水口通過第一管路連接蓄水池的進水口，蓄水池的出水口通過第二管路連接水泵的進水口，水泵的出水口通過第三管路連接硅片脫膠機的進水口，硅片脫膠機的出水口通過第四管路連接沉淀池的進水口。采用上述方案后，能將硅片清洗機中排掉的水存儲到蓄水池中供硅片脫膠機再利用，同時還能降硅片脫膠機排掉的水進行沉淀再處理形成新水，循環利用水資源，能減少水源的浪費，同時減少工廠的開支。

技術領域

本實用新型屬于硅片清洗技術領域，尤其涉及一種硅片清洗系統。

背景技術

硅片清洗主要通過兩種設備實現，硅片脫膠機和硅片清洗機，脫膠機完成硅片切割后的預沖洗和脫膠工作，硅片清洗機通過純水超聲和藥劑清洗將每片硅片一一清洗干凈。

但是，硅片清洗機需要不斷注入新水進行漂洗，此新水往往都是排掉不再使用的，但硅片在脫膠環節需要使用大量的自來水，將硅片表面附著的切割液進行沖洗干凈，用水量大，用水浪費嚴重。

實用新型內容

有鑒于此，本實用新型實施例提供了一種硅片清洗系統，以解決現有技術中用水量大，用水浪費嚴重的問題。

本實用新型實施例提供了一種硅片清洗系統，包括：硅片清洗機、硅片脫膠機、蓄水池、水泵和用于污水處理的沉淀池，所述硅片清洗機的出水口通過第一管路連接所述蓄水池的進水口，所述蓄水池的出水口通過第二管路連接所述水泵的進水口，所述水泵的出水口通過第三管路連接所述硅片脫膠機的進水口，所述硅片脫膠機的出水口通過第四管路連接所述沉淀池的進水口。

作為進一步的技術方案，所述系統還包括水過濾器，所述水過濾器設置在所述水泵的進水口處。

作為進一步的技術方案，所述第一管路、所述第二管路、所述第三管路和所述第四管路均為PPR管路。

作為進一步的技術方案，所述沉淀池的進水口處設有用于盛放污水處理藥劑的藥盒。

作為進一步的技術方案，所述藥盒上還包括用于調節污水處理藥劑劑量的調節旋鈕。

作為進一步的技術方案，所述系統還包括設置在所述蓄水池預設位置處的水位監測單元、控制單元和報警單元，所述水位監測單元連接所述控制單元，所述控制單元連接所述報警單元。

作為進一步的技術方案，所述報警單元為語音報警器、蜂鳴報警器、燈光報警器和振動報警器中的任意一種或多種。

作為進一步的技術方案，所述系統還包括設置在所述蓄水池內部的溫度監測單元和和設置在所述蓄水池外側的加熱單元，所述溫度監測單元連接所述控制單元，所述控制單元連接所述加熱單元。

作為進一步的技術方案，所述控制單元為PLC控制器。

作為進一步的技術方案，所述加熱單元為加熱片。

本實用新型實施例與現有技術相比存在的有益效果是：采用上述方案后，能將硅片清洗機中排掉的水存儲到蓄水池中供硅片脫膠機再利用，同時還能降硅片脫膠機排掉的水進行沉淀再處理形成新水，循環利用水資源，能減少水源的浪費，同時減少工廠的開支。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型實施例中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動性的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。

圖1是本實用新型實施例提供的硅片清洗系統的結構示意圖；

圖2是本實用新型另一實施例提供的硅片清洗系統的結構示意圖；