[實用新型]新型擴散源瓶裝置及擴散源瓶系統

有效

• 申請號: 201721481094.4
• 申請日: 2017-11-08
• 公開（公告）號: CN207483907U
• 公開（公告）日: 2018-06-12
• 發明（設計）人: 王續;李邦勇;潘岳林;黨繼東
• 申請（專利權）人: 蘇州阿特斯陽光電力科技有限公司;阿特斯陽光電力集團有限公司;鹽城阿特斯協鑫陽光電力科技有限公司
• 主分類號: C30B31/16
• 分類號: C30B31/16
• 代理公司: 北京超凡志成知識產權代理事務所(普通合伙) 11371
• 代理人: 趙志遠

本實用新型公開了一種新型擴散源瓶裝置及擴散源瓶系統，包括固定源瓶、進氣管、出氣管、供液源瓶及擋板。進氣管的一端位于固定源瓶的外部，另一端位于其內部且靠近其底部；出氣管的一端位于固定源瓶的外部，另一端位于其內部且靠近其頂部；供液源瓶位于固定源瓶上方，通過加液管道與其連通，且加液管道的底端靠近其底部；擋板設于固定源瓶的內部，且進氣管與出氣管位于其一側、加液管道位于其另一側；擋板的頂邊高于加液管道的底端，擋板的側邊與固定源瓶的側壁連接，擋板的底邊與固定源瓶的底部連接，且擋板的底部設有通液孔。本實用新型中的供液源瓶能夠自動地為固定源瓶供給源，使得液位保持恒定，解決了現有的擴散源瓶裝置不便于換源的問題。

技術領域

本實用新型涉及擴散源瓶裝置技術領域，特別是涉及一種新型擴散源瓶裝置及擴散源瓶系統。

背景技術

現有的擴散源瓶，隨著源液的使用，源瓶液位降低，擴散的穩定性受到影響，液位降低到一定程度時，無法繼續作業，此時就需要換源。

現有的擴散源瓶需要宕機才可以進行換源，對換源的時間要求較高，受環境影響也較大，換源操作麻煩，換源效率低。

目前，亟需一種便于換源的新型擴散源瓶裝置。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種新型擴散源瓶裝置及擴散源瓶系統，以解決現有技術中存在的擴散源瓶裝置不便于換源的技術問題。

為了實現上述目的，本實用新型采用以下技術方案：

本實用新型提供的一種新型擴散源瓶裝置，包括固定源瓶、進氣管、出氣管、供液源瓶及擋板；

所述進氣管的一端位于所述固定源瓶的外部，所述進氣管的另一端位于所述固定源瓶的內部且靠近所述固定源瓶的底部；

所述出氣管的一端位于所述固定源瓶的外部，所述出氣管的另一端位于所述固定源瓶的內部且靠近所述固定源瓶的頂部；

所述供液源瓶位于所述固定源瓶上方，通過加液管道與所述固定源瓶連通，且所述加液管道的底端靠近所述固定源瓶的底部；

所述擋板設于所述固定源瓶的內部，且所述進氣管與所述出氣管位于其一側、所述加液管道位于其另一側；

所述擋板的頂邊高于所述加液管道的底端，所述擋板的側邊與所述固定源瓶的側壁連接，所述擋板的底邊與所述固定源瓶的底部連接，且所述擋板的底部設有通液孔。

進一步地，所述加液管道上設有加液控制閥。

該技術方案的技術效果在于：加液控制閥能夠對供液源瓶的加液情況進行控制，從而能夠對擴散過程進行調整。

進一步地，所述加液管道上設有與其連通的儲液罐；

所述儲液罐位于所述固定源瓶的外部。

該技術方案的技術效果在于：儲液罐能夠儲存一定量的源液，作為在固定源瓶與供液源瓶之間的源液緩存元件，能夠起到加液緩沖作用，使得固定源瓶內的源液體積波動小，從而使得擴散能夠更加穩定地進行；并且，在更換供液源瓶時，儲液罐內的源液能夠繼續補充到固定源瓶內，保證固定源瓶內部液位穩定。

進一步地，所述加液控制閥位于所述供液源瓶與所述儲液罐之間。

該技術方案的技術效果在于：加液控制閥不僅能夠控制加液情況，還能在更換供液源瓶時封閉加液管道，使得加液過程能夠正常進行，擴散免受干擾。

進一步地，所述供液源瓶與所述加液管道活動連接。

該技術方案的技術效果在于：供液源瓶便于更換，使得換源操作簡單化，換源速度快，換源效率高，受外界環境的影響小。

進一步地，所述供液源瓶的頂部設有加液口。