[實用新型]一種定向凝固設備有效
| 申請號: | 201721477597.4 | 申請日: | 2017-11-08 |
| 公開(公告)號: | CN207498516U | 公開(公告)日: | 2018-06-15 |
| 發明(設計)人: | 秦浩宇;張建飛 | 申請(專利權)人: | 內蒙古科技大學 |
| 主分類號: | C30B28/06 | 分類號: | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司: | 石家莊輕拓知識產權代理事務所(普通合伙) 13128 | 代理人: | 秦燕 |
| 地址: | 014010 內蒙古*** | 國省代碼: | 內蒙古;15 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 爐體 質量控制器 滑動連接 滑動軸 進氣管 連通 定向凝固設備 本實用新型 拉錠機構 石英坩堝 出氣口 冷卻盤 氬氣罐 定向凝固技術 氬氣 定向凝固 固液界面 上端固定 外側密封 鑄錠冷卻 充氣閥 多晶硅 溫度場 真空計 氣冷 豎直 切除 凝固 穿過 應用 | ||
1.一種定向凝固設備,其特征在于:包括爐體(1);爐體(1)左側安裝有真空計(2);爐體(1)底部滑動連接有豎直方向上的空心滑動軸(3);空心滑動軸(3)內部滑動連接有進氣管(4);爐體(1)下方設置有拉錠機構(5);空心滑動軸(3)底端安裝在拉錠機構(5)上;拉錠機構(5)下方設置有氬氣罐(6);氬氣罐(6)的出氣口安裝有流量質量控制器(7);流量質量控制器(7)左側安裝有充氣閥(8);氬氣罐(6)的出氣口與進氣管(4)連通;進氣管(4)兩端穿過拉錠機構(5)分別與冷卻盤(9)、流量質量控制器(7)連通;冷卻盤(9)上端固定連接有石英坩堝(10);爐體(1)中部固定連接有保溫套筒(11);保溫套筒(11)與石英坩堝(10)相互配合;保溫套筒(11)外側固定連接有感應線圈(12);保溫套筒(11)內部固定連接有發熱體(13);保溫套筒(11)上端連通有排氣管(14);排氣管(14)的出氣端連接有換熱器(15);換熱器(15)出氣端安裝有閥門一(16);換熱器(15)的出氣端分為兩個支路;左側的支路連通有比例閥(17);右側的支路中連接有壓差流量計(21);比例閥(17)的出氣端連通有真空泵組(18);真空泵組(18)與爐體(1)連通;真空泵組(18)底側連通有羅茨泵(19);羅茨泵(19)下側連通有滑閥泵(20);壓差流量計(21)下端連接有渦旋式真空泵(22);渦旋式真空泵(22)出氣端分為兩個分支;一個分支為向爐體(1)延伸的側吹管(23),且側吹管(23)上安裝有閥門二(24);另一個分支與進氣管(4)連通,之間安裝有閥門三(28);石英坩堝(10)外側密封滑動連接有凝固套(25);凝固套(25)內部沿圓周方向開有均勻排列若干個出氣孔(26);側吹管(23)與凝固套(25)連通;爐體(1)內側底部固定連接有電動推桿(27);電動推桿(27)輸出端與凝固套(25)底部固定連接。
2.根據權利要求1所述的一種定向凝固設備,其特征在于:側吹管(23)與凝固套(25)的底部連通,且凝固套(25)上側開有排氣孔(29)。
3.根據權利要求1所述的一種定向凝固設備,其特征在于:凝固套(25)上側的排氣孔(29)連接有排氣導管(30);排氣導管(30)與排氣管(14)連通。
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