[實用新型]一種用于手工貼膜的裝置

有效

• 申請號: 201721475708.8
• 申請日: 2017-11-07
• 公開（公告）號: CN207303058U
• 公開（公告）日: 2018-05-01
• 發明（設計）人: 王文昌;于會永;趙春峰;袁韶陽;荊愛明;穆成鋒;張軍軍
• 申請（專利權）人: 大慶佳昌晶能信息材料有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種用于手工貼膜的裝置，包括底座(1)、紫外線燈(3)、托盤(13)和UV膜卷軸(9)，托盤(13)和UV膜卷軸(9)設置在底座(1)上，待加工的晶圓(15)安放在托盤(13)上，UV膜卷軸(9)在晶圓(15)上滾動，從而將UV膜貼在晶圓(15)上，其特征在于：所述的托盤(13)底部的中央固定有螺柱(12)，托盤(13)通過螺柱(12)安裝在底座(1)上的螺紋孔內，托盤(13)的上側設置有防止晶圓(15)被刮傷的軟墊(14)，晶圓(15)安放在軟墊(14)上，通過旋轉托盤(13)可對托盤(13)的高度進行調整，從而使晶圓(15)的上表面與底座(1)的上表面平齊，底座(1)的兩側設置有滑道(11)，滑道(11)上安裝有滑動支架(7)，滑動支架(7)的兩側各設置有一個長方形開口，長方形開口內設置有可沿豎直方向滑動的滑塊(10)，滑塊(10)與長方形開口的上沿之間設置有彈簧(8)，所述的UV膜卷軸(9)的兩端安裝在所述的滑塊(10)的中央，UV膜卷軸(9)的圓柱面在彈簧(8)的作用下與底座(1)的上表面貼合，底座(1)上表面的一側固定設置有半包圍結構的遮光罩(2)，遮光罩(2)的上端固定有紫外線燈(3)，紫外線燈(3)的下沿安裝有遮光簾(5)，遮光簾(5)通過導軌(4)安裝在紫外線燈(3)的下沿，遮光簾(5)與遮光罩(2)共同在紫外線燈(3)與晶圓(15)之間圍成封閉的遮光結構。

2.根據權利要求1所述的一種用于手工貼膜的裝置，其特征在于：所述的滑動支架(7)的頂部設置有用于推動滑動支架(7)的把手(6)。

3.根據權利要求1所述的一種用于手工貼膜的裝置，其特征在于：所述的螺柱(12)的螺距不大于0.5mm。

4.根據權利要求1所述的一種用于手工貼膜的裝置，其特征在于：所述的滑塊(10)凸出于滑動支架(7)的端面。