[實用新型]一種真空泵過濾罐過濾裝置

有效

• 申請號: 201721470856.0
• 申請日: 2017-11-07
• 公開（公告）號: CN207562596U
• 公開（公告）日: 2018-07-03
• 發明（設計）人: 楊旭彪;辛玉龍;董皓;羅曉斌;呂濤
• 申請（專利權）人: 山西潞安太陽能科技有限責任公司
• 主分類號: B01D50/00
• 分類號: B01D50/00
• 代理公司: 太原市科瑞達專利代理有限公司 14101
• 代理人: 李富元

本實用新型涉及一種真空泵過濾罐。一種真空泵過濾罐過濾裝置，包括過濾罐罐體（3）、上下開口的筒狀的導氣筒（4）、進氣口（6）、隔板（8）、第一排氣口（71）、第二排氣口（72）、過濾裝置（2）、過濾罐罐蓋（1），過濾裝置（2）為一個左側面和下側面開口其它各側面上安裝濾網的箱體結構，過濾裝置（2）的左側面扣在進氣口（6）上，隔板（8）上有多個成通孔狀的第一排氣口（71），每個第一排氣口（71）上扣有一個導氣筒（4），第二排氣口（72）處于過濾罐罐體（3）的底部，過濾罐罐體（3）的底部與隔板（8）之間成中空結構。

技術領域

本實用新型涉及一種真空泵過濾罐裝置。

背景技術

成本問題是整個太陽能行業的首要問題，也是單晶硅行業的首要問題。目前單晶硅的生產主要采用CZ法或以CZ法為基礎的改良法進行，CZ法工藝技術要求單晶爐每拉制一爐消耗一只石英坩堝（以下簡稱坩堝）。因此，單晶硅單公斤的坩堝成本就等于1只坩堝價格除以1爐產出的公斤數。經計算，單晶加工過程中坩堝成本是僅次于電力成本的第二大成本項。而想要降低坩堝成本，就必須增大單爐產出，在良品率一定的情況下，增大單爐產出就必須增加單爐投料量。對此，業內通用的技術是采用重復加料的方式，也稱之為RCZ法。

RCZ法是以CZ法為基礎的改良法，其原理就是在單晶拉制過程中，拉制完第1根硅棒后不停爐，通過二次加料的方式再投料進去拉制第2根，甚至第3、4根硅棒。從而起到節省坩堝，降低坩堝成本的作用。

但是，RCZ法導致單爐周期大大增加，平均用時是普通CZ法的1.5倍，甚至2倍時間以上。由于期間不停爐，爐內會不斷的產生大量氧化物、硅化物粉塵，這就對爐體的排氣系統帶來很大的考驗。如果排氣不順，會嚴重影響硅棒生產，尤其是在拉制第2根硅棒末期，容易導致硅棒斷線、不合格率上升，或者是爐內雜質多，導致硅棒尾部碳含量超標等等情況。

而單晶爐的排氣系統是靠真空泵通過過濾罐從爐內不斷抽氣維持的。而過濾罐內的濾芯，經過一段時間的使用后，其濾網上積累了大量氧化物難以清理，導致濾芯堵塞，排氣能力嚴重下降，影響正常拉晶生產。對此，甚至有的廠家將真空泵過濾罐內的濾芯去掉，采用最直接的“不過濾”方式改善爐臺排氣性能，但這會導致真空泵內進入大量粉塵，泵油老化加快，需要頻繁更換真空泵油，同時對真空泵也會造成一定損傷。

發明內容

本實用新型所要解決的技術問題是：如何解決單晶爐單爐周期變長情況下爐體排氣不暢、容易堵塞等種種問題。

本實用新型所采用的技術方案是：一種真空泵過濾罐過濾裝置，包括過濾罐罐體（3）、上下開口的筒狀的導氣筒（4）、進氣口（6）、隔板（8）、第一排氣口（71）、第二排氣口（72）、過濾裝置（2）、過濾罐罐蓋（1），過濾裝置（2）為一個左側面和下側面開口其它各側面上安裝濾網的箱體結構，過濾裝置（2）的左側面扣在進氣口（6）上，隔板（8）上有多個成通孔狀的第一排氣口（71），每個第一排氣口（71）上扣有一個導氣筒（4），第二排氣口（72）處于過濾罐罐體（3）的底部，過濾罐罐體（3）的底部與隔板（8）之間成中空結構。

作為一種優選方式：過濾罐罐蓋（1）與過濾罐罐體（3）為可拆卸連接。

作為一種優選方式：過濾罐罐蓋（1）與過濾罐罐體（3）通過螺栓連接，過濾罐罐蓋（1）與過濾罐罐體（3）之間有密封墊圈。

作為一種優選方式：隔板（8）與過濾罐罐體（3）的底部不接觸，隔板（8）與過濾罐罐體（3）之間為可拆卸連接或者一體化連接。

本實用新型的有益效果是：結構簡單、安全、可靠；易于清理，有效的降低了勞動強度，提高了勞動效率；改造成本低廉，易于推廣，在不顯著增加成本的前提下，提高了真空泵排氣性能，同時起到了一定的過濾作用，有效保護了真空泵。

附圖說明

圖1是本實用新型的結構示意圖。