[實用新型]尾氣管道加熱系統

有效

• 申請號: 201721454188.2
• 申請日: 2017-11-03
• 公開（公告）號: CN207529248U
• 公開（公告）日: 2018-06-22
• 發明（設計）人: 尚華;張慧
• 申請（專利權）人: 上海正帆科技股份有限公司
• 主分類號: G05D23/20
• 分類號: G05D23/20
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 孟金喆

本實用新型公開了一種尾氣管道加熱系統，包括：加熱帶，沿待加熱尾氣管道設置；加熱電源線，所述加熱電源線與控制開關的輸入端電連接，所述控制開關的輸出端與所述加熱帶電連接，所述控制開關的控制端與加熱控制電路電連接；所述加熱控制電路，用于控制所述控制開關開啟或關閉，以控制所述加熱電源線與所述加熱帶導通或斷開，所述加熱帶與所述加熱電源線導通時，對所述待加熱尾氣管道進行加熱。本實用新型實施例提供了一種尾氣管道加熱系統，解決了尾氣的均勻控溫問題，避開了水蒸汽、導熱油等加熱介質，該系統結構簡單、成本低廉、壽命長、可靠性高，減少了需要維護的元件及時間，在工作環境惡劣的地方也能正常使用。

技術領域

本實用新型實施例涉及半導體行業，尤其涉及一種尾氣管道加熱系統。

背景技術

半導體行業中尾氣管道處理部分的高功率加熱控制系統是一種可以替代水、導熱油、蒸汽加熱的高功率加熱控制系統。目前管道加熱現狀，除水、蒸汽、導熱油夾套加熱外，高功率加熱控制系統還是個空白，很多廠家生產流體產品的過程，在長距離管道輸送中需要加熱、保溫等工藝，而水、蒸汽、導熱油這些加熱介質，必須配有鍋爐、換熱器，環保、效率、維護的問題時常困擾生產。

實用新型內容

有鑒于此，本實用新型實施例提供了一種尾氣管道加熱系統，解決了尾氣的均勻控溫問題，避開了水蒸汽、導熱油等加熱介質，該系統結構簡單、成本低廉、壽命長、可靠性高，減少了需要維護的元件及時間，在工作環境惡劣的地方也能正常使用。

本實用新型實施例提供了一種尾氣管道加熱系統，包括：

加熱帶，沿待加熱尾氣管道設置；

加熱電源線，所述加熱電源線與控制開關的輸入端電連接，所述控制開關的輸出端與所述加熱帶電連接，所述控制開關的控制端與加熱控制電路電連接；

所述加熱控制電路，用于控制所述控制開關開啟或關閉，以控制所述加熱電源線與所述加熱帶導通或斷開，所述加熱帶與所述加熱電源線導通時，對所述待加熱尾氣管道進行加熱。

可選的，該尾氣管道加熱系統還包括：設置在所述待加熱尾氣管道內的溫度傳感器，與所述加熱控制電路電連接，用于向所述加熱控制電路反饋所述待加熱尾氣管道的溫度。

可選的，所述加熱控制電路設置在終端盒內，所述終端盒的表面設置有溫度設定按鈕和顯示屏；

所述溫度設定按鈕與所述加熱控制電路相連，用于輸入設定的預設加熱溫度；

所述顯示屏與所述加熱控制電路相連，用于顯示所述待加熱尾氣管道的溫度。

可選的，該尾氣管道加熱系統還包括：保溫層，所述保溫層包裹所述待加熱尾氣管道，所述加熱帶設置于所述保溫層內。

可選的，該尾氣管道加熱系統還包括：

電源接線盒，設置于所述保溫層內，所述控制開關設置在所述電源接線盒內。

可選的，所述控制開關包括：固態繼電器，和熱繼電器；

所述固態繼電器第一輸出端與所述加熱帶電連接，所述固態繼電器的控制端與所述加熱控制電路電連接，所述固態繼電器的第二輸出端通過所述熱繼電器與所述加熱電源線電連接。

可選的，該尾氣管道加熱系統還包括：過濾盒，所述過濾盒設置在所述保溫層內，且所述過濾盒的第一端與所述電源接線盒連接，所述過濾盒的第二端與所述終端盒連接，且所述過濾盒于所述加熱帶內，用于所述尾氣進行過濾處理。

可選的，所述加熱控制電路為溫控器，所述溫控器的輸出端與所述固態繼電器的控制端電連接，用于控制所述固態繼電器的打開或者關閉，所述溫控器的輸入端與所述溫度傳感器電連接，用于感應所述尾氣的溫度。

可選的，所述溫控器還包括：