[實用新型]一種單晶爐籽晶夾持裝置

有效

• 申請號: 201721443635.4
• 申請日: 2017-11-02
• 公開（公告）號: CN207391598U
• 公開（公告）日: 2018-05-22
• 發明（設計）人: 陳欽強
• 申請（專利權）人: 青海日晶光電有限公司
• 主分類號: C30B15/32
• 分類號: C30B15/32;C30B29/06
• 代理公司: 成都元信知識產權代理有限公司 51234
• 代理人: 孫法勝

本實用新型中公開了一種單晶爐籽晶夾持裝置，包括重錘、轉接頭和籽晶夾頭，所述轉接頭一端連接在重錘上，另一端連接籽晶夾頭，所述籽晶夾頭中心設置有中空結構的夾持腔，夾持腔包括頭部容納腔、限位腔和桿部容納腔，所述頭部容納腔、限位腔和桿部容納腔依次連接，所述限位腔為倒錐臺截面結構。該籽晶夾持裝置中通過在籽晶夾頭中設置與籽晶相配合的夾持腔，對籽晶進行固定裝夾，在方便籽晶安裝裝夾的同時，通過籽晶自身的重力使籽晶在拉晶過程中作用力保持一致，防止發生掉棒的問題；具有結構簡單，加工、使用方便，活動性較好的特點。

技術領域

本實用新型涉及單晶硅制備設備技術領域，特別涉及一種用于單晶爐的籽晶夾持裝置。

背景技術

單晶爐在拉晶過程中籽晶與坩堝之間的同心度越高，所得到的籽晶質量越好，因此在單晶爐的安裝過程中需要通過籽晶夾頭來確定籽晶與坩堝之間的同心度。在硅單晶拉制過程中，籽晶通過籽晶夾頭夾持拉晶，排除了硅晶體中的位錯，保證了晶體的單一性?，F有的籽晶夾頭所采用的材料一般都是耐高溫的金屬材料，其長期在高溫(1400℃)環境下工作，夾頭表面會有少量氧化物生成，這些金屬氧化物容易掉落到硅液里，而這些金屬雜質會導致晶棒產生位錯和晶線中斷；并且現有的籽晶夾頭通常采用銷來固定籽晶，這種裝夾方式會因為籽晶上的90°V型槽加工的誤差和人工安裝不精確的原因，導致籽晶的安裝方向和夾具中軸線之間存在一定的夾角，難以保證籽晶與坩堝之間的同心度，同時在取晶棒時導致受力點不一樣，容易出現掉棒的現象，影響到硅晶體的制備。

實用新型內容

本實用新型的目的在于解決現有單晶爐中籽晶夾頭存在的上述技術問題，提供一種單晶爐籽晶夾持裝置，其結構簡單，可很好的解決金屬雜質和掉棒的問題。

為解決上述技術問題，本實用新型采用了以下技術方案：

一種單晶爐籽晶夾持裝置，包括重錘、轉接頭和籽晶夾頭，所述轉接頭一端連接在重錘上，另一端連接籽晶夾頭，所述籽晶夾頭中心設置有中空結構的夾持腔，夾持腔包括頭部容納腔、限位腔和桿部容納腔，所述頭部容納腔、限位腔和桿部容納腔依次連接，所述限位腔為倒錐臺截面結構。

上述技術方案中，進一步地，所述籽晶夾頭上設置有連通頭部容納腔的通孔。

上述技術方案中，進一步地，所述籽晶夾頭端部設置有與頭部容納腔連通的連接螺孔，轉接頭下端設置有連接螺柱，籽晶夾頭和轉接頭之間通過連接螺孔和連接螺柱固定連接，所述籽晶夾頭端部設置有定位端面，連接螺柱外設置有限位凸緣，所述限位凸緣端面與定位端面之間相互配合。

上述技術方案中，進一步地，所述轉接頭上端設置有固定螺柱，重錘下端設置有固定螺孔，所述轉接頭與重錘之間通過固定螺柱和固定螺孔固定連接，所述固定螺柱外設置有定位凸臺和定位錐面，固定螺孔外對應設置有配合的限位端面和限位錐面。

上述技術方案中，進一步地，所述籽晶夾頭為等靜壓石墨整體成型結構。

本實用新型所具有的有益效果：

本實用新型中所采用的籽晶夾持裝置中通過在籽晶夾頭中設置與籽晶相配合的夾持腔，對籽晶進行固定裝夾，在方便籽晶安裝裝夾的同時，通過籽晶自身的重力使籽晶在拉晶過程中作用力保持一致，防止發生掉棒的問題；具有結構簡單，加工、使用方便，活動性較好的特點。

同時在夾頭與重錘之間的連接上通過設置相應的定位結構，使夾頭和重錘之間具有很好的同軸度，從而保證了籽晶與坩堝之間的同心度，提高了硅晶體的制備質量和效率。

附圖說明

圖1為本實用新型結構示意圖。

圖2為本實用新型中籽晶夾頭結構示意圖。

圖3為圖1中A處局部示意圖。

圖中：