[實(shí)用新型]一種適用于化學(xué)氣相淀積設(shè)備的控制系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201721443535.1
• 申請(qǐng)日: 2017-11-02
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN207483846U
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-06-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 成家興
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳市新怡富數(shù)控設(shè)備有限公司
• 主分類號(hào): C23C16/52
• 分類號(hào): C23C16/52
• 代理公司: 深圳市君勝知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 44268
• 代理人: 王永文;劉文求

1.一種適用于化學(xué)氣相淀積設(shè)備的控制系統(tǒng)，其特征在于，其包括人機(jī)交互裝置、主PLC控制器、PID溫控模塊、從PLC控制器以及上下料控制模塊，所述人機(jī)交互裝置分別與所述主PLC控制器和從PLC控制器相連接；所述主PLC控制器與所述PID溫控模塊相連接以形成第一控制支線，所述從PLC控制器與所述上下料控制模塊相連接以形成第二控制支線；所述主PLC控制器還與所述從PLC控制器通訊連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述適用于化學(xué)氣相淀積設(shè)備的控制系統(tǒng)，其特征在于，所述主PLC控制器的型號(hào)為FP-SH M8N16T，所述主PLC控制器采用RS485通信線與所述PID溫控模塊相連接，且采用RS232通信線與所述人機(jī)交互裝置相連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述適用于化學(xué)氣相淀積設(shè)備的控制系統(tǒng)，其特征在于，所述PID溫控模塊包括多個(gè)用于檢測(cè)爐管內(nèi)部溫度的內(nèi)電偶、多個(gè)用于檢測(cè)爐管外部溫度的外電偶、電流模擬輸出電路以及單片機(jī)；所述多個(gè)內(nèi)電偶、多個(gè)外電偶以及電流模擬輸出電路均與所述單片機(jī)相連接；所述多個(gè)內(nèi)電偶設(shè)置于所述爐管內(nèi)，所述多個(gè)外電偶設(shè)置于所述爐管外壁上。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述適用于化學(xué)氣相淀積設(shè)備的控制系統(tǒng)，其特征在于，所述的單片機(jī)的型號(hào)為ADuC845。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述適用于化學(xué)氣相淀積設(shè)備的控制系統(tǒng)，其特征在于，所述上下料控制模塊包括用于控制機(jī)械手的多個(gè)伺服電機(jī)，所述伺服電機(jī)包括伺服電機(jī)本體以及與所述伺服電機(jī)本體相連的伺服驅(qū)動(dòng)器；所述伺服驅(qū)動(dòng)器設(shè)置有TX端口、RX端口以及傳感器端口；所述從PLC控制器與所述多個(gè)伺服電機(jī)串聯(lián)并形成閉環(huán)網(wǎng)絡(luò)連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述適用于化學(xué)氣相淀積設(shè)備的控制系統(tǒng)，其特征在于，所述從PLC控制器的TX端口與第一伺服驅(qū)動(dòng)器的RX端口相連接，第一伺服驅(qū)動(dòng)器的TX端口與第二伺服驅(qū)動(dòng)器的RX端口相連接，第二伺服驅(qū)動(dòng)器的TX端口與第三伺服驅(qū)動(dòng)器的RX端口相連接，……，第n-1伺服驅(qū)動(dòng)器的TX端口與第n伺服驅(qū)動(dòng)器的RX端口相連接，所述第n伺服驅(qū)動(dòng)器的TX端口與所述從PLC控制器的RX端口相連接，以使得所述從PLC控制器與所述多個(gè)伺服驅(qū)動(dòng)器串聯(lián)并形成閉環(huán)網(wǎng)絡(luò)連接。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述適用于化學(xué)氣相淀積設(shè)備的控制系統(tǒng)，其特征在于，所述伺服電機(jī)采用A6N型伺服電機(jī)。

8.根據(jù)權(quán)利要求5所述適用于化學(xué)氣相淀積設(shè)備的控制系統(tǒng)，其特征在于，所述傳感器端口引出三根導(dǎo)聯(lián)線，所述三根導(dǎo)聯(lián)線分別用于連接正限位傳感器、負(fù)限位傳感器以及原點(diǎn)傳感器。

9.根據(jù)權(quán)利要求5所述適用于化學(xué)氣相淀積設(shè)備的控制系統(tǒng)，其特征在于，所述從PLC控制器的型號(hào)為FPXH-C60T，所述從PLC控制器通過(guò)PCLINK與所述主PLC控制器相連接，且采用RS232通信線與所述人機(jī)交互裝置相連接。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述適用于化學(xué)氣相淀積設(shè)備的控制系統(tǒng)，其特征在于，所述人機(jī)交互裝置設(shè)置有用于報(bào)警提示的報(bào)警器。