[實用新型]衰減裝置及光刻機

有效

• 申請號: 201721440266.3
• 申請日: 2017-10-31
• 公開（公告）號: CN207408740U
• 公開（公告）日: 2018-05-25
• 發明（設計）人: 陳夢來
• 申請（專利權）人: 上海微電子裝備（集團）股份有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

1.一種衰減裝置，其特征在于，包括：能量衰減盤和旋轉驅動單元，所述旋轉驅動單元驅動能量衰減盤旋轉以改變能量衰減盤上的衰減檔位，所述旋轉驅動單元包括棘輪、傳動棘齒、棘齒驅動單元和防退棘齒，所述棘輪與所述能量衰減盤同軸固定連接，所述棘齒驅動單元驅動所述傳動棘齒轉動，所述傳動棘齒和防退棘齒均可擺動地抵接在棘輪的外側。

2.如權利要求1所述的衰減裝置，其特征在于，所述棘齒驅動單元包括氣缸和傳動組件，所述氣缸的輸出端連接所述傳動組件，所述傳動棘齒可擺動地設置在傳動組件上。

3.如權利要求2所述的衰減裝置，其特征在于，所述傳動組件包括第一連桿和第二連桿，所述第一連桿兩端分別鉸接所述氣缸的輸出端和所述第二連桿，所述第二連桿還鉸接所述能量衰減盤的旋轉中心，所述傳動棘齒鉸接在所述第二連桿上。

4.如權利要求1所述的衰減裝置，其特征在于，所述衰減裝置還包括安裝座，所述能量衰減盤和旋轉驅動單元分別固定在所述安裝座上。

5.如權利要求1或3所述的衰減裝置，其特征在于，所述衰減裝置還包括第一壓片，所述第一壓片可擺動地壓設在所述傳動棘齒上。

6.如權利要求1或3所述的衰減裝置，其特征在于，所述衰減裝置還包括第二壓片，所述第二壓片可擺動地壓設在所述防退棘齒上。

7.如權利要求1所述的衰減裝置，其特征在于，所述衰減裝置還包括彈簧支柱，所述彈簧支柱的可伸縮端抵接所述棘輪外側。

8.如權利要求7所述的衰減裝置，其特征在于，所述衰減裝置還包括安裝座，所述棘輪通過所述安裝座與所述能量衰減盤同軸固定連接，所述彈簧支柱可伸縮地設置在所述安裝座上。

9.如權利要求1所述的衰減裝置，其特征在于，所述棘輪的齒數為8個或12個。

10.一種光刻機，其特征在于，包括如權利要求1-9中任一項所述的衰減裝置。