[實用新型]一種超大測量角度光譜共聚焦形狀測量系統

有效

• 申請號: 201721437543.5
• 申請日: 2017-11-01
• 公開（公告）號: CN207351399U
• 公開（公告）日: 2018-05-11
• 發明（設計）人: 時博洋
• 申請（專利權）人: 時博洋
• 主分類號: G01B11/24
• 分類號: G01B11/24
• 代理公司: 上海海貝律師事務所 31301
• 代理人: 范海燕

本實用新型公開了一種超大測量角度光譜共聚焦形狀測量系統，包括支架、XY電動掃描臺與光學測頭總裝板，所述光學測頭總裝板通過第一測頭夾具、第二測頭夾具與第三測頭夾具分別固定有第一測頭、第二測頭與第三測頭，所述第二測頭與第三測頭分別對稱位于第一測頭兩側，所述第二測頭夾具與第三測頭夾具與光學測頭總裝板之間轉動連接，本實用新型采用三只光譜共焦測量頭組合測量，避免了單獨一只光譜共焦測量頭的最大可測量角度的局限性，通過將三只光譜共焦測量頭組合為一個完整系統，三路光譜共焦同時測量樣品表面，將測量數據自動組合到一起，最終實現輸出一條形狀測量值，整體設計可以在大大提高最大可測量角度的同時，保證更大的測量量程。

技術領域

本實用新型涉及一種形狀測量系統，具體為一種超大測量角度光譜共聚焦形狀測量系統。

背景技術

現在市面上的光譜光聚焦形狀測量系統，均為單獨一只測量頭垂直測量表面形狀，由于光譜共焦位移傳感器測量頭的N.A(數值孔徑)限制，每種測量頭都有一個最大可測量角度，超過最大可測量角度的形狀就無法測得，單純提高N.A(數值孔徑)可以擴大最大可測量角度，但是第一N.A極限一般只能做到0.75不能無限增大，另外N.A(數值孔徑)增大受限于測量量程，做到N.A(數值孔徑)0.75，量程只能做到1mm，因此針對以上問題設計一種超大測量角度光譜共聚焦形狀測量系統是十分必要的。

實用新型內容

針對背景技術中存在的問題，本實用新型提供了一種超大測量角度光譜共聚焦形狀測量系統，可以在大大提高最大可測量角度的同時，保證更大的測量量程。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：一種超大測量角度光譜共聚焦形狀測量系統，包括支架、XY電動掃描臺與光學測頭總裝板，所述光學測頭總裝板位于XY電動掃描臺正上方，所述光學測頭總裝板通過第一測頭夾具、第二測頭夾具與第三測頭夾具分別固定有第一測頭、第二測頭與第三測頭，所述第一測頭與XY電動掃描臺所在平面相垂直，且正對XY電動掃描臺的中心點，所述第二測頭與第三測頭分別對稱位于第一測頭兩側，且與第一測頭之間形成有初始夾角α，所述第二測頭夾具與第三測頭夾具與光學測頭總裝板之間轉動連接。

作為本實用新型一種優選的技術方案，所述第一測頭可進行自由的垂向調節，所述第二測頭與第三測頭同XY電動掃描臺間的距離也可自由調節。

作為本實用新型一種優選的技術方案，所述第二測頭與第三測頭同第一測頭之間的初始夾角α為45°。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果是：本實用新型采用三只光譜共焦測量頭組合測量，避免了單獨一只光譜共焦測量頭的最大可測量角度的局限性，通過將三只光譜共焦測量頭組合為一個完整系統，三路光譜共焦同時測量樣品表面，將測量數據自動組合到一起，最終實現輸出一條形狀測量值，整體設計可以在大大提高最大可測量角度的同時，保證更大的測量量程，具有較為廣闊的市場前景，便于推廣。

附圖說明

圖1為本實用新型正面結構示意圖；

圖2為本實用新型側面結構示意圖；

圖3為本實用新型立體結構示意圖；

圖中：1-支架；2-XY電動掃描臺；3-光學測光總裝板；4-第一測頭夾具；5-第二測頭夾具；6-第三測頭夾具；7-第一測頭；8-第二測頭；9-第三測頭。

具體實施方式

下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。

實施例：