[實用新型]大型罐體內壁鍍膜用真空陰極電弧鍍膜機電弧源組件的驅動系統

有效

• 申請號: 201721432404.3
• 申請日: 2017-10-31
• 公開（公告）號: CN207845763U
• 公開（公告）日: 2018-09-11
• 發明（設計）人: 李志榮;馮曉庭;潘銳華;陸創程;魏艷玲
• 申請（專利權）人: 東莞市匯成真空科技有限公司
• 主分類號: C23C14/32
• 分類號: C23C14/32
• 代理公司: 廣州知友專利商標代理有限公司 44104
• 代理人: 何秋林;周克佑

本實用新型提供一種大型罐體內壁鍍膜用真空陰極電弧鍍膜機電弧源組件的驅動系統，將旋轉架通過轉盤密封轉動安裝在爐體底板上，利用爐體底板下方的外部驅動機構驅動轉盤旋轉，并在旋轉架與轉盤之間形成一非真空腔室，轉動軸密封轉動水平穿出非真空腔室，另一驅動機構設置在非真空腔室內，驅動轉動軸旋轉，并通過轉動軸將動力傳遞到真空區，然后通過傳動機構帶動升降臺沿旋轉架作升降運動。本實用新型驅動系統，可方便的實現動力從非真空區到真空區的傳遞，從而驅動安裝其上的位于真空區中的電弧源組件，在水平面內作旋轉運動和在豎直方向上作升降運動，且旋轉運動和升降運動由兩套獨立的驅動機構分別控制，從而實現調速方便。

技術領域

本實用新型涉及用于大型罐體內壁鍍膜的真空陰極電弧鍍膜機，特別涉及一種所述鍍膜機真空鍍室內電弧源組件的驅動系統。所述大型罐體指一端開口另一端具有外凸的弧形封頂蓋，直徑1.5米—3.3米x高2.5米—3.8米的罐體。

背景技術

常用真空陰極電弧鍍膜機用于鍍硬質耐磨的工模具保護膜、或鍍硬質耐劃花耐腐蝕的日用品裝飾膜，最典型的鍍層是氮化鈦，它呈金黃色，有較高硬度，有較好的耐磨耐蝕性能，常被用于工模具保護膜和各種用品的裝飾膜。大型的鍍膜機要數鍍不銹鋼飾板(如長3.2米x寬1.2米)的鍍膜機，立式鍍室直徑2-5米x高2-4米，又如鍍不銹鋼長管(如直徑40毫米x6米)的鍍膜機，臥式鍍室直徑2米x長7米，這類型鍍膜機都是30--50只電弧靶位，安置在鍍室外壁上，向爐內工件發射靶材鍍料等離子體，在工件外表面沉積成膜，或在工件外表面鍍料(如Ti)與反應氣體(如 N)合成化合物膜(TiN)。這些機型技術比較成熟了，但要求在大型罐體的內壁上，用真空陰極電弧鍍TiN膜的鍍膜設備，國內外尚未有報導。

實用新型內容

綜合而言，新型鍍膜機應具有如下特點：(1)鍍膜時，被鍍的大型罐體的內腔需要抽真空；(2)由于需要在罐體內壁上鍍膜，鍍膜時，電弧源要安裝在大型罐體內的支承物上，連接電弧源的水、電、氣都要引入罐體內腔；(3)電弧源的設置方式還要能完成大型罐體弧形封頂蓋的仰角鍍膜；(4)罐體內徑有多種尺寸，電弧源鍍膜時要適應這些尺寸變化；(5)罐體高度有多種尺寸，電弧源鍍膜時也要適應這種高度的變化。這些要求，現有鍍膜機都無法實現。

本實用新型的發明目的是提供一種大型罐體內壁鍍膜用真空陰極電弧鍍膜機電弧源組件的驅動系統，利用該驅動系統，可方便的實現動力從非真空區到真空區的傳遞，從而驅動安裝其上的位于真空區中的電弧源組件，在水平面內作旋轉運動和在豎直方向上作升降運動，且所述旋轉運動和升降運動由兩套獨立的驅動機構分別控制，從而實現調速方便。

本實用新型的發明目的具體通過如下技術方案實現：一種大型罐體內壁鍍膜用真空陰極電弧鍍膜機電弧源組件的驅動系統，其特征在于，包括爐體底板、旋轉架、升降臺、轉盤、轉動軸、驅動機構和傳動機構；