[實用新型]一種類單晶籽晶的鋪設裝置及設備

有效

• 申請號: 201721429528.6
• 申請日: 2017-10-31
• 公開（公告）號: CN207483895U
• 公開（公告）日: 2018-06-12
• 發明（設計）人: 陳志軍;李林東;曾先平;盧亮;蘇騰;金浩
• 申請（專利權）人: 晶科能源有限公司;浙江晶科能源有限公司
• 主分類號: C30B11/14
• 分類號: C30B11/14;C30B28/06
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 羅滿

本實用新型實施例公開了一種類單晶籽晶的鋪設裝置及設備，包括控制器、升降支架、真空吸盤、氣泵及輸氣管道；控制器的控制端分別與氣泵的驅動端和升降支架的驅動端連接，氣泵的輸出端與輸氣管道的輸入端連接，輸氣管道的輸出端與真空吸盤的通氣口連接；真空吸盤的通氣口端與升降支架的移動端連接；真空吸盤的底部具有多個吸盤區域，每個吸盤區域對應一個籽晶，每個吸盤區域至少設有一個吸盤孔；控制器用于控制升降支架帶動真空吸盤進行上升或下降運動，以便真空吸盤將預先鋪設的籽晶陣列移送至坩堝底部，籽晶陣列為多個籽晶無縫鋪設而成。本實用新型實施例在鋪設籽晶的過程中降低了籽晶邊角碰撞幾率，鋪設質量和效率較高，無縫化效果更佳。

技術領域

本實用新型實施例涉及類單晶技術領域，特別是涉及一種類單晶籽晶的鋪設裝置及設備。

背景技術

隨著科技的發展類單晶技術在多晶鑄錠行業的應用越來越廣泛，在類單晶技術中籽晶的鋪設是一個重要環節。為了避免晶體生長時相鄰兩塊籽晶之間出現多晶，在籽晶鋪設時需要使籽晶與籽晶之間實現無縫化和平整化，盡量避免籽晶的磕碰導致邊角崩裂，盡量減少籽晶塊在坩堝底部進行挪移摩擦時導致的氮化硅粉涂層的脫落。

目前，現有的類單晶技術中的籽晶鋪設方案均是人工手動的將籽晶一塊一塊的依次鋪設在坩堝底部，在將籽晶放置在坩堝面時，因坩堝高度和寬度都較大，使人工放置籽晶時的勞動強度較大，從而增加了籽晶邊角的碰撞幾率，并且人工手動鋪設時，使放置在坩堝底部的籽晶和與其相鄰的籽晶之間縫隙較大，需要對籽晶進行挪移直到和相鄰的籽晶緊挨，但是在移動過程中籽晶和坩堝底面接觸摩擦容易損傷坩堝底面的氮化硅層，并且在移動籽晶的過程中會使兩塊籽晶之間形成氮化硅粉的堆積，從而導致兩塊籽晶之間存在一定的縫隙，難以實現無縫化。

因此，如何提供一種解決上述技術問題的類單晶籽晶的鋪設裝置及設備成為本領域技術人員目前需要解決的問題。

實用新型內容

本實用新型實施例的目的是提供一種類單晶籽晶的鋪設裝置及設備，在鋪設籽晶的過程中降低了籽晶邊角的碰撞幾率，更好的實現了無縫化，并且降低了操作人員的勞動強度，鋪設質量和工作效率大大提高。

為解決上述技術問題，本實用新型實施例提供了一種類單晶籽晶的鋪設裝置，包括控制器、升降支架、真空吸盤、氣泵及輸氣管道；所述控制器的控制端分別與所述氣泵的驅動端和所述升降支架的驅動端連接，所述氣泵的輸出端與所述輸氣管道的輸入端連接，所述輸氣管道的輸出端與所述真空吸盤的通氣口連接；所述真空吸盤的通氣口端與所述升降支架的移動端連接；所述真空吸盤的底部具有多個吸盤區域，每個所述吸盤區域對應一個籽晶，每個所述吸盤區域至少設有一個吸盤孔；所述控制器用于控制所述升降支架帶動所述真空吸盤進行上升或下降運動，以便所述真空吸盤將預先鋪設的籽晶陣列移送至坩堝底部，所述籽晶陣列為多個籽晶無縫鋪設而成。

可選的，所述氣泵為電動氣泵。

可選的，還包括可移動的搬運車，所述控制器、所述氣泵及所述升降支架均設置于所述搬運車上。

可選的，所述搬運車中還設置有配重物。

可選的，還包括吸盤支架，所述真空吸盤的通氣口端通過所述吸盤支架與所述升降支架的移動端連接。

可選的，所述輸氣管道設置于所述吸盤支架的內部。

可選的，如上述所述的類單晶籽晶的鋪設裝置，所述每個所述吸盤區域至少設有一個吸盤孔具體為：

每個所述吸盤區域設有4個吸盤孔。

可選的，每個所述吸盤孔分別設置于相應吸盤區域的四角處。

本實用新型實施例還提供了一種類單晶籽晶的鋪設設備，包括用于放置坩堝的平板車和如上述所述的類單晶籽晶塊的鋪設裝置。