[實(shí)用新型]一種具有高低溫及氣氛環(huán)境控制的多功能測試裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201721428612.6
• 申請日: 2017-10-30
• 公開（公告）號(hào): CN207351496U
• 公開（公告）日: 2018-05-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳建文;于昕梅;樊耘;王修才;段志奎;朱珍;譚海曙;何志敏
• 申請（專利權(quán)）人: 佛山科學(xué)技術(shù)學(xué)院
• 主分類號(hào): G01D21/02
• 分類號(hào): G01D21/02
• 代理公司: 廣州嘉權(quán)專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 44205
• 代理人: 王國標(biāo)

1.一種具有高低溫及氣氛環(huán)境控制的多功能測試裝置，其特征在于：包括用于提供測試環(huán)境的多功能腔體、用于調(diào)節(jié)多功能腔體內(nèi)溫度及氣氛的測試環(huán)境控制單元和用于監(jiān)控測試的監(jiān)測單元；所述測試環(huán)境控制單元和監(jiān)測單元均與多功能腔體連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有高低溫及氣氛環(huán)境控制的多功能測試裝置，其特征在于：所述多功能腔體包括腔體頂蓋(101)、腔殼(102)、腔體內(nèi)部載臺(tái)(103)和腔體支架(104)，所述腔體頂蓋(101)與腔殼(102)相連且用真空密封墊圈(111)密封，所述腔體頂蓋(101)、腔殼(102)和腔體內(nèi)部載臺(tái)(103)圍成一個(gè)空腔(105)，所述腔殼(102)設(shè)置于腔體支架(104)上，所述腔體支架(104)底部設(shè)置有減震基座(106)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種具有高低溫及氣氛環(huán)境控制的多功能測試裝置，其特征在于：所述腔殼(102)側(cè)邊設(shè)置有進(jìn)氣口(107)、出氣口(108)、真空抽氣口(109)和測試線密封口(110)，所述腔體頂蓋(101)和腔體內(nèi)部載臺(tái)(103)上均留有開口。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種具有高低溫及氣氛環(huán)境控制的多功能測試裝置，其特征在于：所述測試環(huán)境控制單元包括溫控裝置和氣氛環(huán)境控制裝置，所述溫控裝置設(shè)置于腔體內(nèi)部載臺(tái)(103)的開口處；所述氣氛環(huán)境控制裝置設(shè)置于多功能腔體外并通過所述進(jìn)氣口(107)、出氣口(108)和真空抽氣口(109)與多功能腔體的空腔(105)相通。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種具有高低溫及氣氛環(huán)境控制的多功能測試裝置，其特征在于：所述溫控裝置包括加熱裝置、制冷裝置、溫度傳感器(201)和溫度控制器；所述溫度控制器設(shè)置于多功能腔體外并通過測試線與加熱裝置、制冷裝置、溫度傳感器(201)連接；所述加熱裝置包括加熱器(202)和包裹加熱器(202)的金屬蓄冷蓄熱塊(203)，所述制冷裝置包括制冷結(jié)構(gòu)和與制冷結(jié)構(gòu)連接的散熱結(jié)構(gòu)，所述溫度傳感器(201)設(shè)置于金屬蓄冷蓄熱塊(203)上表面。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種具有高低溫及氣氛環(huán)境控制的多功能測試裝置，其特征在于：所述金屬蓄冷蓄熱塊(203)側(cè)面與腔體內(nèi)部載臺(tái)(103)之間設(shè)置有絕緣隔熱層(204)，所述金屬蓄冷蓄熱塊(203)上面設(shè)置有測試平臺(tái)(301)，所述測試平臺(tái)(301)與金屬蓄冷蓄熱塊(203)緊密接觸，測試平臺(tái)(301)上設(shè)置有一沉孔，溫度傳感器(201)嵌入到沉孔內(nèi)。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種具有高低溫及氣氛環(huán)境控制的多功能測試裝置，其特征在于：所述制冷結(jié)構(gòu)包括半導(dǎo)體熱電制冷片(205)，所述半導(dǎo)體熱電制冷片(205)與金屬蓄冷蓄熱塊(203)接觸，所述散熱結(jié)構(gòu)包括緊貼半導(dǎo)體熱電制冷片(205)熱端的散熱片(206)和散熱片(206)外側(cè)的散熱風(fēng)扇(207)。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種具有高低溫及氣氛環(huán)境控制的多功能測試裝置，其特征在于：所述半導(dǎo)體熱電制冷片(205)與腔殼(102)之間設(shè)置有用于防止熱量流失的保溫隔熱層(208)。

9.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種具有高低溫及氣氛環(huán)境控制的多功能測試裝置，其特征在于：所述氣氛環(huán)境控制裝置包括氣瓶和真空泵；所述氣瓶與進(jìn)氣口(107)相通，所述真空泵與真空抽氣口(109)相通。

10.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種具有高低溫及氣氛環(huán)境控制的多功能測試裝置，其特征在于：所述監(jiān)測單元包括電學(xué)性能測試裝置和光學(xué)監(jiān)控裝置，所述電學(xué)性能測試裝置包括設(shè)置于多功能腔體外的電學(xué)測試系統(tǒng)和設(shè)置于多功能腔體內(nèi)的探針座(302)、探針(303)，所述探針(303)設(shè)置在探針座(302)上，探針座(302)設(shè)置在腔體內(nèi)部載臺(tái)(103)上，探針(303)通過測試線與電學(xué)測試系統(tǒng)連接，所述測試線穿過測試線密封口(110)；所述光學(xué)監(jiān)控裝置包括設(shè)置于腔體頂蓋(101)開口處的石英光學(xué)視窗(401)和設(shè)置于多功能腔體外的用于監(jiān)控多功能腔體內(nèi)的測試樣品(5)的光學(xué)顯微鏡，光學(xué)顯微鏡位于石英光學(xué)視窗(401)上方。