[實用新型]一種宏微工作臺

有效

• 申請號: 201721415330.2
• 申請日: 2017-10-30
• 公開（公告）號: CN207282156U
• 公開（公告）日: 2018-04-27
• 發明（設計）人: 鐘博文;孫立寧;王振華
• 申請（專利權）人: 蘇州邁客榮自動化技術有限公司
• 主分類號: G12B9/10
• 分類號: G12B9/10;G12B5/00
• 代理公司: 蘇州市中南偉業知識產權代理事務所(普通合伙)32257
• 代理人: 楊慧林

技術領域

本申請涉及一種微/納米定位系統中的微位移機構，尤其涉及一種宏微工作臺。

背景技術

隨著科技的不斷發展，隨著科技的發展，精密微定位技術在微驅動各個領域，如微機電系統、光學調整、超精密加工、生物細胞操作、STM和AFM顯微鏡掃描平臺等方面都是必不可少的，有著廣闊的應用前景，并能產生巨大的社會及經濟效益，己成為微驅動精密定位領域中不可或缺的關鍵技術之一。

發明內容

本申請要解決的技術問題是提供一種結構簡單、體積小的宏微工作臺。

為了解決上述技術問題，本申請提供了一種宏微工作臺，包括工作臺本體和設于所述工作臺本體上的宏動臺、微動臺以及驅動所述宏動臺移動的驅動組件，所述微動臺設于所述宏動臺上，所述微動臺包括一基座，所述基座上設有穿過所述基座的上表面與下表面的通槽，所述通槽將所述基座分為一動臺體和一基座本體，所述通槽包括X向通槽和Y向通槽，所述Y向通槽將所述X向通槽圍設在所述Y向通槽的內側，所述X向通槽和所述Y向通槽間隔設置，所述X向通槽包括一組相對設置的第一U型槽與第二U型槽，所述第一U型槽與第二U型槽的槽口相對設置，所述Y向通槽包括相對設置的第三U型槽與第四U型槽，所述第三U型槽與第四U型槽的槽口相對設置，各所述U型槽均包括一橫部和設于所述橫部兩端并與所述橫部相垂直設置的豎部，所述橫部的長度長于所述豎部的長度，所述基座上設有沿X向延伸的第一凹槽和沿Y 向延伸的第二凹槽，所述第一凹槽與所述第二凹槽內分別設有第一壓電陶瓷與第二壓電陶瓷，所述第一壓電陶瓷穿過所述第一U型槽的橫部，所述第二壓電陶瓷穿過所述第二U型槽的橫部。

進一步的，所述基座本體上分別設有穿過所述基座本體的側壁并分別抵持對應的壓電陶瓷的預緊頂桿。

進一步的，所述第一凹槽長度方向的延長線與第二凹槽長度方向的延長線交于所述基座的中心。

進一步的，所述基座的側壁上還設有供所述壓電陶瓷出線、與所述凹槽連通的電線保護套。

進一步的，所述動臺體上設有多個安裝孔。

進一步的，所述基座上還設有與所述基座可拆卸連接的底蓋。

進一步的，所述驅動組件包括一絲杠螺母副和驅動所述絲杠螺母副的伺服電機，所述宏動臺設于所述絲杠螺母副的絲母上。

進一步的，所述工作臺本體上豎向設置有一與所述工作臺本體可拆卸連接的收容腔，所述絲杠螺母副設于所述收容腔內，所述收容腔靠近所述宏動臺的一側的側壁開設有供所述宏動臺上下移動的通孔，所述收容腔的側壁與所述宏動臺接觸的側壁上還設有滑槽，所述宏動臺上設有與所述滑槽相適配的滑塊。

進一步的，所述宏動臺與所述工作臺本體之間設有一導向機構，所述導向機構包括一導套和與所述導套相適配的圓柱軸，所述宏動臺與所述工作臺本體中的其中一者設有導套，另一者設有圓柱軸。

本申請的有益效果是：

1)本申請的宏微工作臺，通過設置X向與Y向的通槽實現X向與Y向運動控制簡單解決現有的X向與Y向運動的耦合問題；

2)本申請的宏微工作臺，將整個微動臺的驅動部件與相應部件均設置在基座上，使整個結構較現有微動臺的結構更加簡單，體積更小。

3)本申請的宏微工作臺，通過宏動結合微動的運動方式可以實現快速調整平臺的位置。

上述說明僅是本實用新型技術方案的概述，為了能夠更清楚了解本實用新型的技術手段，并可依照說明書的內容予以實施，以下以本實用新型的較佳實施例并配合附圖詳細說明如后。

附圖說明

圖1是本申請宏微工作臺的結構示意圖；

圖2是本申請宏微工作臺的微動臺的結構示意圖；

圖3是本申請宏微工作臺的宏動臺的示意圖；

圖4是本申請宏微工作臺的另一視角的結構示意圖。

其中：

2是工作臺本體、4是宏動臺、6是微動臺、8是基座、10是動臺體、12 是基座本體、14是第一U型槽、16是第二U型槽、18第三U型槽、20第四U 型槽、22是第一凹槽、24是第二凹槽、26是預緊頂桿、28是電線保護套、30 是絲杠螺母副、32是伺服電機、34是收容腔、36是滑塊、38是導向機構。

具體實施方式

下面結合附圖和具體實施例對本申請作進一步說明，以使本領域的技術人員可以更好地理解本申請并能予以實施，但所舉實施例不作為對本申請的限定。