[實用新型]一種半導體制造用共晶機有效
| 申請號: | 201721406010.0 | 申請日: | 2017-10-29 |
| 公開(公告)號: | CN207441661U | 公開(公告)日: | 2018-06-01 |
| 發明(設計)人: | 汪文堅;王倩;劉少麗;楊雅婷;陳業 | 申請(專利權)人: | 江蘇納沛斯半導體有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/603 | 分類號: | H01L21/603;H01L21/67 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 223001 江蘇*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 共晶 一端設置 頂針 顯示屏 半導體 半導體制造 控制臺 夾板 照明燈 底端 本實用新型 緩沖裝置 誤差減少 成品率 緩沖力 夾板卡 警報燈 裝置室 頂出 減小 抽屜 損傷 配合 | ||
1.一種半導體制造用共晶機,包括機體(1),其特征在于:所述機體(1)的一端設置有裝置室(9),所述機體(1)的上方設置有共晶臺(2),所述共晶臺(2)的上方設置有共晶槍(3),所述共晶槍(3)的一端設置有照明燈(4),所述照明燈(4)的一端設置有顯示屏(6),所述顯示屏(6)的一端設置有警報燈(5),所述顯示屏(6)的底端設置有控制臺(7),所述控制臺(7)的底端設置有抽屜(8),所述共晶臺(2)的中間位置設置有頂針(14),所述頂針(14)的一端設置有夾板(10),所述夾板(10)的一端設置有調節桿(12),所述調節桿(12)的外表面設置有彈簧(13),所述調節桿(12)的一端設置有調節螺母(11),所述頂針(14)的頂端設置有第一緩沖器(15),所述第一緩沖器(15)的底端設置有緩沖支桿(16),所述緩沖支桿(16)的底端設置有第二緩沖器(17),所述第二緩沖器(17)的外表面設置有頂針外殼(18),所述頂針(14)的底端設置有頂針底座(19)。
2.根據權利要求1所述的一種半導體制造用共晶機,其特征在于:所述緩沖支桿(16)共設置有四個,且四個緩沖支桿(16)分別均勻設置在頂針外殼(18)的內部,所述緩沖支桿(16)的頂端設置有第一緩沖器(15),且第一緩沖器(15)通過電焊固定連接在緩沖支桿(16)上。
3.根據權利要求1所述的一種半導體制造用共晶機,其特征在于:所述第二緩沖器(17)通過電焊固定連接在緩沖支桿(16)的底端。
4.根據權利要求1所述的一種半導體制造用共晶機,其特征在于:所述夾板(10)共設置有兩個,且兩個夾板(10)分別固定連接在調節桿(12)上。
5.根據權利要求1所述的一種半導體制造用共晶機,其特征在于:所述共晶臺(2)與調節桿(12)通過調節螺母(11)固定連接。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





