[實用新型]一種真空系統

有效

• 申請號: 201721404792.4
• 申請日: 2017-10-27
• 公開（公告）號: CN207567343U
• 公開（公告）日: 2018-07-03
• 發明（設計）人: 周作興;程丙勛
• 申請（專利權）人: 奕瑞影像科技（太倉）有限公司
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56;F04B37/14;G01L21/30
• 代理公司: 上海光華專利事務所(普通合伙) 31219
• 代理人: 余明偉

本實用新型提供一種真空系統，包括：真空反應腔室、真空泵、連接管路及真空計；真空泵連接真空反應腔室，連接管路的兩端分別連接真空反應腔室及真空計，其中，連接管路至少包括一個彎折節點。本實用新型的真空系統將真空反應腔室與電離式真空計之間的連接管路替換為彎折管路，避免電離式真空計在多次使用后因為電極受到污染導致不能成功點火的問題，保障設備正常高效工作。

技術領域

本實用新型涉及醫療器械制造領域，特別是涉及一種真空系統。

背景技術

醫療器械是指單獨、組合使用于人體的儀器、設備、器具、材料或者其他物品；其使用旨在達到：對疾病的預防、診斷、治療、監護、緩解，對損傷或者殘疾的診斷、治療、監護、緩解、補償，對解剖或者生理過程的研究、替代、調節的預期目的。醫療器械可通過高科技技術輔助醫生進行疾病的精確診斷和治療，已成為越來越重要的醫療手段，由于醫療器械是直接作用于人體的設備，其有效性及安全性的要求尤為重要。

醫療器械的制造涉及機械、電子、塑料等多個行業，是一個多學科交叉、知識密集、資金密集的高技術產業，制造過程中的一些小問題，就會影響整個制造過程中的效率和成本。

醫療器械的很多制造過程中會用到真空反應腔室，如圖1所示，現有技術的真空系統1中：真空反應腔室11與真空泵12連接，所述真空反應腔室11還通過連接管路13與電離式真空計14連接。所述真空泵12對所述真空反應腔室11抽真空，所述電離式真空計14通過使氣體分子電離，測量離子數量(電流)而得出所述真空反應腔室11中的氣體壓強。現有技術中，所述連接管路13是直型管道，且長度較短，在抽真空時，腔室內的顆粒容易因氣流擾動，進入所述電離式真空計14與所述真空反應腔室11之間的所述連通管路13內，這些顆粒物容易對所述電離式真空計14的電極片造成污染，導致所述電離式真空計14不能成功點火，需要關掉所述真空泵12，重新開啟，有時候需要多次反復開/關啟動所述真空泵12，才能點火成功，嚴重影響工作效率，氣體壓強的檢測精度也會受到影響(對于沒有電極的其他類型的真空計也會存在污染問題，影響檢測精度)。

因此，如何避免電離式真空計的電極板受污染而不能成功點火的問題、提供工作效率已成為本領域技術人員亟待解決的問題之一。

實用新型內容

鑒于以上所述現有技術的缺點，本實用新型的目的在于提供一種真空系統，用于解決現有技術中電離式真空計的電極板受污染而不能成功點火，影響工作效率的問題。

為實現上述目的及其他相關目的，本實用新型提供一種真空系統，所述真空系統至少包括：

真空反應腔室、真空泵、連接管路及真空計；

所述真空泵連接所述真空反應腔室，所述連接管路的兩端分別連接所述真空反應腔室及所述真空計，其中，所述連接管路至少包括一個彎折節點。

優選地，所述真空反應腔室包括鍍膜腔室、清洗腔室或沉積腔室。

優選地，所述真空計為電離式真空計。

更優選地，所述真空計包括熱陰極電離真空計、冷陰極電離真空計或放射性電離真空計。

優選地，所述連接管路包括波浪形、折線形及螺旋形中的一種或幾種組合。

更優選地，所述連接管路在垂直方向上延伸、在水平方向上延伸或同時在垂直和水平兩個方向上延伸。

優選地，所述連接管路的橫截面包括環形或多邊形。

如上所述，本實用新型的真空系統，具有以下有益效果：

本實用新型的真空系統將真空反應腔室與電離式真空計之間的連接管路替換為彎折管路，避免電離式真空計在多次使用后因為電極受到污染導致不能成功點火的問題，保障設備正常高效工作。

附圖說明