[實用新型]一種棱鏡角度裝調裝置

有效

• 申請號: 201721399724.3
• 申請日: 2017-10-26
• 公開（公告）號: CN207440368U
• 公開（公告）日: 2018-06-01
• 發明（設計）人: 王倩;周翊;趙江山;劉廣義
• 申請（專利權）人: 中國科學院光電研究院
• 主分類號: G02B7/18
• 分類號: G02B7/18;G01B11/26
• 代理公司: 北京辰權知識產權代理有限公司 11619
• 代理人: 劉廣達

本實用新型提出一種棱鏡角度裝調裝置，該測量裝置包括基板、棱鏡組平臺、導軌、精密轉臺、自準直儀、電腦，該裝置解決了棱鏡組中各棱鏡角度裝配、調節的問題。通過捕捉光束入射到棱鏡表面的反射光信息，實現對棱鏡角度的測量。克服了現有測角儀不能測量幾個棱鏡角度信息且對棱鏡組尺寸要求過高的缺點。

技術領域

本實用新型涉及光學元件，特別地，用于棱鏡角度裝調的裝置。

背景技術

在激光器研發過程中，時常需要對激光光譜(如激光波長、激光線寬)，進行控制以滿足不同的應用需求。以準分子激光系統為例，針對光刻應用，為了保證半導體硅片芯片圖案的精細度，要求光刻光源有較窄的激光線寬輸出。在準分子激光器中一般通過線寬壓窄模塊完成光譜控制。棱鏡組配合光柵是目前使用較廣的光譜控制方法。

圖1是準分子激光系統線寬壓窄模塊基本結構示意圖，主要包含棱鏡組11及光柵22。棱鏡組11對到達光柵22之前的光束進行一維的擴束、準直，降低腔內光束能量密度，同時有利于光譜的選擇和控制。經過線寬壓窄模塊后，激光線寬表達式為Δλ＝ΔθN1/2其中，Δθ為激光發散角，N為單脈沖激光在諧振腔內的往返次數，M為棱鏡擴束倍率，為Littrow模式的光柵色散，為棱鏡組色散。由此可知，棱鏡組擴束倍率是影響光譜控制結果的關鍵。

為了得到較小的線寬(<0.5pm)，通常需要采用3-4個棱鏡形成棱鏡擴束單元，配合光柵完成光譜控制功能。棱鏡組的擴束倍率與光束在棱鏡表面的入射角有很大關系(Effects of prism beam expander and slits on excimer laser linewidthnarrowing module，COL 11(4),041405(2013))。為了精確控制激光線寬，需要對光束在棱鏡表面的入射角進行精確控制，因此需要使用一種裝置對棱鏡組中幾個棱鏡的安裝角度進行精細調節。

實用新型內容

本實用新型的目的是通過以下技術方案實現的。

一種棱鏡角度裝調裝置，該測量裝置包括基板、棱鏡組平臺(1)、導軌(4)、精密轉臺(5)、自準直儀(6)、電腦(7)，其特征在于，

棱鏡組平臺(1)固定在基板上，用于承載、固定待測量的棱鏡組；

第一0°高反鏡(2)固定在棱鏡組平臺(1)上，與棱鏡組平臺(1)垂直；

小孔(3)固定在棱鏡組平臺(1)上，與第一0°高反鏡(2)配合完成裝調基準確定的功能；

導軌(4)固定在基板上；

精密轉臺(5)通過滑塊與導軌(4)相連，可沿導軌自由移動，并可在導軌任意地方鎖定，所述精密轉臺(5)可360°自由旋轉，轉動鎖定后可實現高精度的微調；

自準直儀(6)固定在精密轉臺上，發出信號光束；

電腦(7)與所述自準直儀(6)相連，用于觀測自準直儀(6)接受到的反射光信號；

第二0°高反鏡(8)用于校準自準直儀(6)，確定精密轉臺0°。